阵列式角分辨散射检测装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118624637A

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410717271.2

    申请日:2024-06-04

    Abstract: 本申请公开了一种阵列式角分辨散射检测装置,属于光学检测技术领域。本申请装置包括光源、样品台和阵列式散射光采集系统;其中阵列式散射光采集系统包括多个以样品台中心为圆心的采集环,多个所述采集环位于不同平面;采集环上布置有多个探测器;光源照射样品台上承载的样品后,多个探测器同步采集样品的散射光。本申请采用阵列式探测器代替传统单探测器逐步采集多散射角和多方位角散射光信息,由此减少了因探测器或样品运动产生的时间差和空间移动导致的误差,提高了检测效率和精度。

    一种光学元件全空间检测装置及方法

    公开(公告)号:CN117309329A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311256166.5

    申请日:2023-09-26

    Abstract: 本发明提供了一种光学元件全空间检测装置及方法,属于光学元件检测领域,该装置包括光路单元和机械单元,其中:光路单元的光源组件用于提供入射光;反射探测组件设置在待测光学元件的反射侧;透射探测组件设置在待测光学元件的透射侧;机械单元的样品运动平台用于固定待测光学元件并带动其移动;光源运动平台用于带动光源组件转动;探测器半球运动平台设置用于同步带动反射探测组件和透射探测组件在各自的半球内运动。本发明通过增加了一个信息来源能够有效提高检测的准确性,并且通过设置机械单元,能够实现反射光和透射光的全空间检测,从而获得更多的光强信息,从而进一步提高检测的准确性和测量效率。

    一种基于散射矩阵的表面质量识别模型建立方法及其应用

    公开(公告)号:CN117218099A

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202311254040.4

    申请日:2023-09-26

    Abstract: 本发明提供了一种基于散射矩阵的表面质量识别模型建立方法及其应用,属于光学检测领域,该建立方法具体为:对若干标样的表面质量进行分类并获取各个标样对应的散射光强和电场强度;分别对各个标样的散射光强进行归一化处理以获得其对应的散射矩阵;根据散射光强与电场强度的关系对各个散射矩阵进行可视化处理,以此获得若干更新散射矩阵;根据标样的表面质量类别对各个更新散射矩阵进行打标以此获得数据集;利用数据集对深度学习模型进行训练以获得表面质量识别模型。本发明能够获得多入射角及散射角的空间分布结果,并避免散射光强输入数据与输出数据的数量级差别较大造成预测误差过大的问题,最终获得准确率较高的表面质量识别模型。

    一种基于光学相控阵的亚表层损伤的检测方法和装置

    公开(公告)号:CN116223451A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202310333341.X

    申请日:2023-03-30

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,并公开了一种基于光学相控阵的亚表层损伤的检测方法和装置,方法包括:发射激光光束,将激光光束偏振整形为平顶光束后分为多路平行光束,并经由相控阵准直入射到待测样品上;使相控阵相邻阵元之间产生特定相位差,进而使平行光束在特定方向发生干涉增强,使光束偏转特定角度并射入待测样品进行扫描,并在亚表层损伤处多次散射以形成散射光束;利用硅光电倍增管采集散射光束的光强数据;重复进行多次扫描,直至将待测样品表面全部扫描,并将采集到的多组光强数据与正常样品的光强数据进行分析对比,以确定待测样品的亚表层损伤的位置与形貌。本发明能实现快速高精度的亚表层损伤检测,具有广泛的应用前景。

Patent Agency Ranking