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公开(公告)号:CN117309329A
公开(公告)日:2023-12-29
申请号:CN202311256166.5
申请日:2023-09-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种光学元件全空间检测装置及方法,属于光学元件检测领域,该装置包括光路单元和机械单元,其中:光路单元的光源组件用于提供入射光;反射探测组件设置在待测光学元件的反射侧;透射探测组件设置在待测光学元件的透射侧;机械单元的样品运动平台用于固定待测光学元件并带动其移动;光源运动平台用于带动光源组件转动;探测器半球运动平台设置用于同步带动反射探测组件和透射探测组件在各自的半球内运动。本发明通过增加了一个信息来源能够有效提高检测的准确性,并且通过设置机械单元,能够实现反射光和透射光的全空间检测,从而获得更多的光强信息,从而进一步提高检测的准确性和测量效率。
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公开(公告)号:CN118624637A
公开(公告)日:2024-09-10
申请号:CN202410717271.2
申请日:2024-06-04
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本申请公开了一种阵列式角分辨散射检测装置,属于光学检测技术领域。本申请装置包括光源、样品台和阵列式散射光采集系统;其中阵列式散射光采集系统包括多个以样品台中心为圆心的采集环,多个所述采集环位于不同平面;采集环上布置有多个探测器;光源照射样品台上承载的样品后,多个探测器同步采集样品的散射光。本申请采用阵列式探测器代替传统单探测器逐步采集多散射角和多方位角散射光信息,由此减少了因探测器或样品运动产生的时间差和空间移动导致的误差,提高了检测效率和精度。
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公开(公告)号:CN116833580A
公开(公告)日:2023-10-03
申请号:CN202310696457.X
申请日:2023-06-12
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/38 , G02B27/09 , G02B7/04 , B23K26/082 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种基于光束整形的原位激光辅助加工系统,包括:激光发生装置,用于产生和发射低功率的高斯激光;光束整形装置,用于根据待加工材料的热力学性能,将高斯激光整形为具有特定尺寸、形状和能量分布形式的聚焦光束,该聚焦光束的尺寸小于切削刀具切削刃距离其上表面的高度;其中,光束整形装置的整形目标通过对不同工件材料及不同光斑尺寸、形状和能量分布进行切削区域材料温度场仿真,以均匀温度场为评价指标进行确定;焦点调节装置,用于调节光束整形装置三个自由度的位置,使聚焦光束由切削刀具穿过并在其切削刃附近出射,同时使激光焦平面与加工平面重合。本发明能有效抑制待加工材料表面与亚表面损伤,延长刀具寿命。
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公开(公告)号:CN117218099A
公开(公告)日:2023-12-12
申请号:CN202311254040.4
申请日:2023-09-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06T7/00 , G06V10/30 , G06V10/764 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/084
Abstract: 本发明提供了一种基于散射矩阵的表面质量识别模型建立方法及其应用,属于光学检测领域,该建立方法具体为:对若干标样的表面质量进行分类并获取各个标样对应的散射光强和电场强度;分别对各个标样的散射光强进行归一化处理以获得其对应的散射矩阵;根据散射光强与电场强度的关系对各个散射矩阵进行可视化处理,以此获得若干更新散射矩阵;根据标样的表面质量类别对各个更新散射矩阵进行打标以此获得数据集;利用数据集对深度学习模型进行训练以获得表面质量识别模型。本发明能够获得多入射角及散射角的空间分布结果,并避免散射光强输入数据与输出数据的数量级差别较大造成预测误差过大的问题,最终获得准确率较高的表面质量识别模型。
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公开(公告)号:CN118258791A
公开(公告)日:2024-06-28
申请号:CN202410321339.5
申请日:2024-03-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/49 , G01N21/01 , G01N21/88 , G01N21/956
Abstract: 本申请公开了一种多波长多偏振的角分辨散射检测装置及其图像处理方法,属于光学测量技术领域。本申请中,分光单元将入射的激光分为多路子入射光;各滤波单元选择不同的通过波长对各路子入射光进行滤波,偏振单元改变滤波后入射光的偏振态;随后耦合单元将各路子入射光耦合为一路入射光后投射至可旋转样品台上的样品;散射光收集单元分别针对不同通过波长,采集不同方位角和散射角的散射光光强图像;数据处理单元对不同方位角和散射角的光强图像进行拼接融合,输出与样品亚表层损伤相关的散射光强矩阵分布图。利用本申请可选择多种检测波长和偏振态进行角分辨散射缺陷检测,提供更加全面的散射谱信息,扩大了检测装置的应用范围和检测精度。
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公开(公告)号:CN116223451A
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN202310333341.X
申请日:2023-03-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,并公开了一种基于光学相控阵的亚表层损伤的检测方法和装置,方法包括:发射激光光束,将激光光束偏振整形为平顶光束后分为多路平行光束,并经由相控阵准直入射到待测样品上;使相控阵相邻阵元之间产生特定相位差,进而使平行光束在特定方向发生干涉增强,使光束偏转特定角度并射入待测样品进行扫描,并在亚表层损伤处多次散射以形成散射光束;利用硅光电倍增管采集散射光束的光强数据;重复进行多次扫描,直至将待测样品表面全部扫描,并将采集到的多组光强数据与正常样品的光强数据进行分析对比,以确定待测样品的亚表层损伤的位置与形貌。本发明能实现快速高精度的亚表层损伤检测,具有广泛的应用前景。
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