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公开(公告)号：CN112832017B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202011629302.7
申请日：2020-12-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: D06M10/06 , D06M10/02 , C23C16/40 , C23C16/02 , C23C16/455
Abstract: 本发明涉及复合材料技术领域，特别是涉及一种氧化铝基复合纤维及其制备方法和制件。所述氧化铝基复合纤维的制备方法包括以下步骤：S10，在外部磁场作用下，利用等离子体对高分子聚合物纤维进行表面改性，引入极性基团；及S30，采用空间隔离原子层沉积技术在改性后的高分子聚合物纤维表面沉积氧化铝薄膜。
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公开(公告)号：CN110656318B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201911015373.5
申请日：2019-10-24
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/46 , C23C16/54
Abstract: 本发明属于微纳制造相关领域，并具体公开了一种模块化密封式空间隔离原子层沉积薄膜设备。该设备包括运动装置、喷头装置、密封装置和反应装置，其中运动装置用于带动密封装置和反应装置沿水平轨道移动，带动喷头装置沿竖直方向移动；喷头装置的密封腔与升降台连接，密封腔盖板固定在密封腔的上方，模块化喷头固定在密封腔的下方；密封装置与喷头装置密封配合；反应装置在喷头装置的下方进行往复运动，从而实现空间隔离原子层沉积。本发明通过反应装置在喷头装置下方进行往复运动，从而实现空间隔离原子层沉积，不进行原子层沉积时，密封装置移动到喷头装置的下方，对其进行密封从而保证喷头装置的真空度，以此实现模块化密封。
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公开(公告)号：CN113846315B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202111135780.7
申请日：2021-09-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明涉及一种空间隔离原子层沉积装置，包括：壳体，壳体的内部中空以形成风道；隔板，隔板位于壳体内，风道中位于隔板的一侧的为主风道，风道中位于隔板的另一侧的为静压室，隔板处形成狭缝，主风道与静压室通过狭缝连通，以气体在主风道的长度方向上流动的方向为第一方向，沿第一方向，狭缝包括多个区间；进气口，进气口设置于壳体上，且进气口与主风道连通；出气口，出气口设置于壳体上，且出气口与静压室连通，出气口沿第一方向延伸；沿第一方向靠近末端的区域内，至少部分区间内狭缝的宽度大于下一区间内狭缝的宽度，以使各个区间内主风道内经狭缝流入静压室的气体的量相等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113846315A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111135780.7
申请日：2021-09-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明涉及一种空间隔离原子层沉积装置，包括：壳体，壳体的内部中空以形成风道；隔板，隔板位于壳体内，风道中位于隔板的一侧的为主风道，风道中位于隔板的另一侧的为静压室，隔板处形成狭缝，主风道与静压室通过狭缝连通，以气体在主风道的长度方向上流动的方向为第一方向，沿第一方向，狭缝包括多个区间；进气口，进气口设置于壳体上，且进气口与主风道连通；出气口，出气口设置于壳体上，且出气口与静压室连通，出气口沿第一方向延伸；沿第一方向靠近末端的区域内，至少部分区间内狭缝的宽度大于下一区间内狭缝的宽度，以使各个区间内主风道内经狭缝流入静压室的气体的量相等。
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公开(公告)号：CN112941492B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202110067367.5
申请日：2021-01-19
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明涉及一种原子层沉积装置与方法。原子层沉积装置包括：主流道；进气口，进气口设置于主流道上；支流道，多个支流道沿主流道的轴向设置，且多个支流道均插入主流道，沿主流道的轴向形成多组支流道区，每组支流道区至少设有一个支流道，在气体沿主流道的流动方向上，每组支流道区中支流道的插入深度大于下一组支流道区中支流道的插入深度；喷气口，喷气口设置于支流道上。原子层沉积方法，使用上述的原子层沉积装置，使待沉积气体流入进气口，并从喷气口喷出至待沉积区域。该原子层沉积装置能够实现大面积原子层沉积，且其进气口与喷气口之间的高度较小，整个装置内部的流道结构较为简单，此外，沉积时的均匀性较好。
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公开(公告)号：CN112941492A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110067367.5
申请日：2021-01-19
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明涉及一种原子层沉积装置与方法。原子层沉积装置包括：主流道；进气口，进气口设置于主流道上；支流道，多个支流道沿主流道的轴向设置，且多个支流道均插入主流道，沿主流道的轴向形成多组支流道区，每组支流道区至少设有一个支流道，在气体沿主流道的流动方向上，每组支流道区中支流道的插入深度大于下一组支流道区中支流道的插入深度；喷气口，喷气口设置于支流道上。原子层沉积方法，使用上述的原子层沉积装置，使待沉积气体流入进气口，并从喷气口喷出至待沉积区域。该原子层沉积装置能够实现大面积原子层沉积，且其进气口与喷气口之间的高度较小，整个装置内部的流道结构较为简单，此外，沉积时的均匀性较好。
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公开(公告)号：CN112832017A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202011629302.7
申请日：2020-12-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: D06M10/06 , D06M10/02 , C23C16/40 , C23C16/02 , C23C16/455
Abstract: 本发明涉及复合材料技术领域，特别是涉及一种氧化铝基复合纤维及其制备方法和制件。所述氧化铝基复合纤维的制备方法包括以下步骤：S10，在外部磁场作用下，利用等离子体对高分子聚合物纤维进行表面改性，引入极性基团；及S30，采用空间隔离原子层沉积技术在改性后的高分子聚合物纤维表面沉积氧化铝薄膜。
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公开(公告)号：CN110656318A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201911015373.5
申请日：2019-10-24
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/46 , C23C16/54
Abstract: 本发明属于微纳制造相关领域，并具体公开了一种模块化密封式空间隔离原子层沉积薄膜设备。该设备包括运动装置、喷头装置、密封装置和反应装置，其中运动装置用于带动密封装置和反应装置沿水平轨道移动，带动喷头装置沿竖直方向移动；喷头装置的密封腔与升降台连接，密封腔盖板固定在密封腔的上方，模块化喷头固定在密封腔的下方；密封装置与喷头装置密封配合；反应装置在喷头装置的下方进行往复运动，从而实现空间隔离原子层沉积。本发明通过反应装置在喷头装置下方进行往复运动，从而实现空间隔离原子层沉积，不进行原子层沉积时，密封装置移动到喷头装置的下方，对其进行密封从而保证喷头装置的真空度，以此实现模块化密封。
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