公开(公告)号：CN110656318B

公开(公告)日：2020-07-10

申请号：CN201911015373.5

申请日：2019-10-24

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈蓉 ,  黄奕利 ,  曹坤 ,  李云 ,  邓匡举 ,  宋光亮

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/46 ,  C23C16/54

Abstract: 本发明属于微纳制造相关领域，并具体公开了一种模块化密封式空间隔离原子层沉积薄膜设备。该设备包括运动装置、喷头装置、密封装置和反应装置，其中运动装置用于带动密封装置和反应装置沿水平轨道移动，带动喷头装置沿竖直方向移动；喷头装置的密封腔与升降台连接，密封腔盖板固定在密封腔的上方，模块化喷头固定在密封腔的下方；密封装置与喷头装置密封配合；反应装置在喷头装置的下方进行往复运动，从而实现空间隔离原子层沉积。本发明通过反应装置在喷头装置下方进行往复运动，从而实现空间隔离原子层沉积，不进行原子层沉积时，密封装置移动到喷头装置的下方，对其进行密封从而保证喷头装置的真空度，以此实现模块化密封。

公开(公告)号：CN110656318A

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201911015373.5

申请日：2019-10-24

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈蓉 ,  黄奕利 ,  曹坤 ,  李云 ,  邓匡举 ,  宋光亮

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/46 ,  C23C16/54

Abstract: 本发明属于微纳制造相关领域，并具体公开了一种模块化密封式空间隔离原子层沉积薄膜设备。该设备包括运动装置、喷头装置、密封装置和反应装置，其中运动装置用于带动密封装置和反应装置沿水平轨道移动，带动喷头装置沿竖直方向移动；喷头装置的密封腔与升降台连接，密封腔盖板固定在密封腔的上方，模块化喷头固定在密封腔的下方；密封装置与喷头装置密封配合；反应装置在喷头装置的下方进行往复运动，从而实现空间隔离原子层沉积。本发明通过反应装置在喷头装置下方进行往复运动，从而实现空间隔离原子层沉积，不进行原子层沉积时，密封装置移动到喷头装置的下方，对其进行密封从而保证喷头装置的真空度，以此实现模块化密封。