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公开(公告)号：CN112525080B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202011266768.5
申请日：2020-11-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于精密位移测量相关技术领域，其公开了一种基于差动偏振干涉的悬浮触针位移传感器及检测方法，位移传感器包括自上而下设置的差分偏振干涉器、音圈电机及悬浮触针机构，悬浮触针机构连接于音圈电机；音圈电机包括活动地相连接的音圈电机定子及音圈电机动子，音圈电机动子用于带动悬浮触针机构做竖直移动；悬浮触针机构包括连接于音圈电机动子的悬浮轴承及活动地连接于悬浮轴承的触针轴；差分偏振干涉器用于测量触针轴相对于悬浮轴承的位移以得到一级位移量；通过测量音圈电机动子相对于音圈电机定子的位移得到二级位移量，将一级位移量及二级位移量运算结合即可得到被测表面的测量结果。本发明提高了稳定性及可靠性，扩展了测量范围。
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公开(公告)号：CN111272072A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN202010179235.7
申请日：2020-03-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种基于Tsai并联机构的视频测量方法及测量仪，属于精密测量技术领域，其中，测量仪包括支架、Tsai并联运动模块和视频传感器，所述支架包括底座、立柱和静平台，静平台通过立柱与底座相连；所述Tsai并联运动模块包括Tsai并联机构、驱动电机、转动副、主动杆倾角传感器、从动杆倾角传感器和动平台；所述Tsai并联机构、驱动电机和转动副均与静平台固定连接，所述视频传感器安装在动平台上；所述Tsai并联机构包括三套连杆机构，三套连杆机构共同连接动平台，所述主动杆倾角传感器安装在主动杆上，从动杆倾角传感器安装在从动杆上。本发明不存在累积误差，机构响应速度快、易于加、精度高、适用于精密传动。
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公开(公告)号：CN110631483A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910932300.6
申请日：2019-09-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于精密测量领域，并公开了正交光栅三自由度磁浮测量传感器、检测仪及其检测方法，其包括分光棱镜、分设于分光棱镜左右两侧的激光器和第一平面反射镜、分设于分光棱镜上下两侧的干涉信号探测器和正交透射光栅、位于正交透射光栅下方的第二平面反射镜以及位于第二平面反射镜上方且呈正交布置的四个光斑位置探测器，第二平面反射镜安装在待测的磁浮触针结构上；所述检测仪包括偏转角度计算模块、位移计算模块及所述正交光栅三自由度磁浮测量传感器；所述检测方法由所述检测仪实现。本发明可实现两个方向的偏转角度的同时测量，对触针磁浮轴支撑刚度进行电流反馈，从而使得垂直方向的直线位移精确计量，具有结构紧凑、测量精度高等优点。
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公开(公告)号：CN107883835A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201711288717.0
申请日：2017-12-07
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: G01B5/02 , F16C32/0446 , F16C32/0451 , F16C2370/00 , G01B5/0002 , H01F5/00 , H01F5/02
Abstract: 本发明属于位移传感器领域，并具体公开了磁悬浮触针位移传感器，包括触针轴悬浮模块、触针轴导向模块、测量探头模块和位移测量模块，所述触针轴悬浮模块用于悬浮支撑触针轴，并且可控制测量力；所述触针轴导向模块包括磁悬浮轴承和间隙传感器，用来保证触针轴在测量过程中处于中心位置；所述测量探头模块包括触针夹持头和触针，触针随被测工件垂直方向上位移的变化而上下移动；所述位移测量模块通过检测激光干涉条纹实现物体垂直方向位移的测量。本发明通过调节悬浮模块线圈中电流的大小来控制测量力，以保证触针与被测物接触又不划伤被测物，与传统杠杆触针式传感器相比，具有测量高精度，运动稳定性好等优点。
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公开(公告)号：CN107883835B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN201711288717.0
申请日：2017-12-07
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于位移传感器领域，并具体公开了磁悬浮触针位移传感器，包括触针轴悬浮模块、触针轴导向模块、测量探头模块和位移测量模块，所述触针轴悬浮模块用于悬浮支撑触针轴，并且可控制测量力；所述触针轴导向模块包括磁悬浮轴承和间隙传感器，用来保证触针轴在测量过程中处于中心位置；所述测量探头模块包括触针夹持头和触针，触针随被测工件垂直方向上位移的变化而上下移动；所述位移测量模块通过检测激光干涉条纹实现物体垂直方向位移的测量。本发明通过调节悬浮模块线圈中电流的大小来控制测量力，以保证触针与被测物接触又不划伤被测物，与传统杠杆触针式传感器相比，具有测量高精度，运动稳定性好等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112902851A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110085152.6
申请日：2021-01-21
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明属于精密位移测量相关技术领域，其公开了一种柔性铰链式触针位移传感器，包括：触针单元，包括柔性铰链、固定连接于柔性铰链上表面的第二平面反射镜以及穿过柔性铰链连接于第二平面反射镜下表面的触针；偏振干涉计量单元，水平方向依次包括激光器、偏振分光镜、第一1/4波片以及第一平面反射镜偏振干涉计量单元还包括设于偏振分光镜反射光路上的第二1/4波片以及设于偏振分光镜上方的偏振片和光电探测器。本申请通过对光的偏振反射后的光程差分析即可获得位移量，测量简单精度高。
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公开(公告)号：CN112525080A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011266768.5
申请日：2020-11-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于精密位移测量相关技术领域，其公开了一种基于差动偏振干涉的悬浮触针位移传感器及检测方法，位移传感器包括自上而下设置的差分偏振干涉器、音圈电机及悬浮触针机构，悬浮触针机构连接于音圈电机；音圈电机包括活动地相连接的音圈电机定子及音圈电机动子，音圈电机动子用于带动悬浮触针机构做竖直移动；悬浮触针机构包括连接于音圈电机动子的悬浮轴承及活动地连接于悬浮轴承的触针轴；差分偏振干涉器用于测量触针轴相对于悬浮轴承的位移以得到一级位移量；通过测量音圈电机动子相对于音圈电机定子的位移得到二级位移量，将一级位移量及二级位移量运算结合即可得到被测表面的测量结果。本发明提高了稳定性及可靠性，扩展了测量范围。
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公开(公告)号：CN110631483B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201910932300.6
申请日：2019-09-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于精密测量领域，并公开了正交光栅三自由度磁浮测量传感器、检测仪及其检测方法，其包括分光棱镜、分设于分光棱镜左右两侧的激光器和第一平面反射镜、分设于分光棱镜上下两侧的干涉信号探测器和正交透射光栅、位于正交透射光栅下方的第二平面反射镜以及位于第二平面反射镜上方且呈正交布置的四个光斑位置探测器，第二平面反射镜安装在待测的磁浮触针结构上；所述检测仪包括偏转角度计算模块、位移计算模块及所述正交光栅三自由度磁浮测量传感器；所述检测方法由所述检测仪实现。本发明可实现两个方向的偏转角度的同时测量，对触针磁浮轴支撑刚度进行电流反馈，从而使得垂直方向的直线位移精确计量，具有结构紧凑、测量精度高等优点。
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公开(公告)号：CN211696245U
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN202020317527.8
申请日：2020-03-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本实用新型公开了一种基于Tsai并联机构的视频测量仪，属于精密测量技术领域，包括支架、Tsai并联运动模块和视频传感器，所述支架包括底座、立柱和静平台，静平台通过立柱与底座相连；所述Tsai并联运动模块包括Tsai并联机构、驱动电机、转动副、主动杆倾角传感器、从动杆倾角传感器和动平台；所述Tsai并联机构、驱动电机和转动副均与静平台固定连接，所述视频传感器安装在动平台上；所述Tsai并联机构包括三套连杆机构，三套连杆机构共同连接动平台，所述主动杆倾角传感器安装在主动杆上，从动杆倾角传感器安装在从动杆上。本实用新型不存在累积误差，机构响应速度快、易于加、精度高、适用于精密传动。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207487544U
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201721692478.0
申请日：2017-12-07
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型属于位移传感器领域，并具体公开了磁悬浮触针位移传感器，包括触针轴悬浮模块、触针轴导向模块、测量探头模块和位移测量模块，所述触针轴悬浮模块用于悬浮支撑触针轴，并且可控制测量力；所述触针轴导向模块包括磁悬浮轴承和间隙传感器，用来保证触针轴在测量过程中处于中心位置；所述测量探头模块包括触针夹持头和触针，触针随被测工件垂直方向上位移的变化而上下移动；所述位移测量模块通过检测激光干涉条纹实现物体垂直方向位移的测量。本实用新型通过调节悬浮模块线圈中电流的大小来控制测量力，以保证触针与被测物接触又不划伤被测物，与传统杠杆触针式传感器相比，具有测量高精度，运动稳定性好等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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