公开(公告)号：CN118007245A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202410157259.0

申请日：2024-02-04

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 许剑锋 ,  雷凌 ,  刘念 ,  蒋辉龙 ,  肖峻峰 ,  张建国 ,  陈肖

IPC: C30B33/12 ,  C30B29/04

Abstract: 本发明属于金刚石加工技术领域，提供了一种电感耦合等离子体高效平坦化加工多晶金刚石的方法，该方法采用大气等离子体加工设备实现，所述方法包括以下步骤：将清洁并干燥的多晶金刚石置于载物台上，该载物台位于大气环境中；经由大气等离子体加工设备，向多晶金刚石待加工表面同时输入作为反应气体的氧气、作为辅助反应气体的第一氩气和作为冷却气体的第二氩气；当所有气体的输入流量稳定后，向大气等离子体加工设备通电，利用高频电流激发混合后的氧气和第一氩气形成等离子体对待加工表面照射刻蚀。本发明能在大气环境下通过化学反应和物理轰击同时进行来快速刻蚀去除金字塔型粗糙结构，整体抛光工艺步骤简便，照射刻蚀效率高。

公开(公告)号：CN119057678A

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202411403673.1

申请日：2024-10-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 刘念 ,  雷凌 ,  王昊然 ,  许剑锋 ,  蒋辉龙 ,  张建国 ,  肖峻峰

IPC: B24B29/02 ,  B24B47/12 ,  B24B57/02

Abstract: 本发明属于材料加工技术领域，具体公开了一种紫外线辅助高效抛光金刚石的加工方法，包括：将待抛光金刚石样品相对于可运动的抛光材料表面进行定位；在内部压力值为0.2~1.5torr、具有氧化性气氛且施加紫外光照射的密闭环境中，使待抛光金刚石样品与可运动的抛光材料的表面接触，使抛光材料表面旋转或者同时使待抛光金刚石样品和抛光材料表面旋转，进行抛光。待抛光金刚石样品表面在低压、紫外线、氧化性自由基、机械摩擦等多重作用下，可实现金刚石的高效无损抛光。此外，本发明提供了一种金刚石的抛光装置。