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公开(公告)号：CN109041394A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810898129.7
申请日：2018-08-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05H1/26
Abstract: 本发明属于等离子体加工领域，并具体公开了一种等离子体束径可控的静电聚焦喷头装置及喷射方法，其包括喷头组件、聚焦组件和变焦组件，喷头组件包括从上至下依次同轴设置的衔接头、辅助接头和输出接头，衔接头内开设有用于放置高压电极的通孔及进气通道，辅助接头内开设有电离腔，输出接头内开设有电极环腔，底部设有等离子束输出口；聚焦组件包括间隔设置的三个电极环，三个电极环连接不同电位且电压可调，电极环中部开设有通气孔，等离子体射流经通气孔从等离子束输出口送出；变焦组件用于调节电极环的间距，实现等离子体射流聚焦焦点的调节。本发明可实现等离子体射流焦距的调节，可用于不同高度材料的加工，并可实现曲面上的自由加工。
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公开(公告)号：CN108539052A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810293196.6
申请日：2018-03-30
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: H01L51/56 , H01L51/5253
Abstract: 本发明公开了一种封装柔性显示薄膜的装置、系统及方法，包括箱体、气体通道组件、喷头阵列组件。本发明将喷头阵列组件和气体通道组件在箱体内交错排列，其位置和数量可以根据实际封装层数的需要进行调整。喷头阵列组件与有机墨液腔相连，下面通过两块平行的带电平板对雾化墨液进行平面聚焦，可以实现有机薄膜的制取；通过向前驱体通道交替输入前驱气体和惰性气体，可以实现无机薄膜的制备。本发明将ALD和电喷印有机结合，克服传统的单一OLED封装技术的缺点，可以高效地同时进行多层有机-无机薄膜的制备，能够大大提高封装效率和降低封装成本，在柔性OLED封装领域具有潜在的应用前景。
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公开(公告)号：CN109041394B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201810898129.7
申请日：2018-08-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05H1/26
Abstract: 本发明属于等离子体加工领域，并具体公开了一种等离子体束径可控的静电聚焦喷头装置及喷射方法，其包括喷头组件、聚焦组件和变焦组件，喷头组件包括从上至下依次同轴设置的衔接头、辅助接头和输出接头，衔接头内开设有用于放置高压电极的通孔及进气通道，辅助接头内开设有电离腔，输出接头内开设有电极环腔，底部设有等离子束输出口；聚焦组件包括间隔设置的三个电极环，三个电极环连接不同电位且电压可调，电极环中部开设有通气孔，等离子体射流经通气孔从等离子束输出口送出；变焦组件用于调节电极环的间距，实现等离子体射流聚焦焦点的调节。本发明可实现等离子体射流焦距的调节，可用于不同高度材料的加工，并可实现曲面上的自由加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109664493A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811524382.2
申请日：2018-12-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于功能薄膜的技术领域，并公开了一种可图形化调控功能薄膜润湿性的高效等离子体方法。该方法包括下列步骤：(a)选取一维纳米材料和粘性热塑性材料制备基体薄膜；(b)采用等离子体射流在相应的气体氛围下来回扫描基体薄膜的一维纳米材料，以此将所述基体薄膜的表面疏水化/亲水化，即获得所需的功能薄膜；(c)再次采用等离子射流在功能薄膜上局部逐点扫描或者图案化扫描形成亲水/疏水图案，该亲水/疏水图案用于调节所述功能薄膜的润湿性。通过本发明，为高效收集空气中水分或者表面复杂流道提供了一种有效的新途径，在调控微区润湿性、微流道、新能源等领域有着潜在的应用。
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公开(公告)号：CN109094200A
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201810898865.2
申请日：2018-08-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于喷印装置技术领域，并具体公开了一种空间分布可调的阵列集成式喷印装置和方法，其包括箱体、布置在箱体内部呈阵列分布的喷头组以及用于调节喷头位置的移动组件，喷头组中的喷头包括由上至下依次设置的固定接头、衔接头、中间接头和输出头，中间接头内部开设有通孔及气体输入通道，通孔内安装有从输出头下端穿出的石英管，其出口作为喷嘴，其内插装有高压电极，高压电极与石英管之间留有间隙，高压电极中空部分作为墨液通道；每一喷头组对应设置有移动组件，用于安装喷头并调节喷头的位置，箱体内设置有电极板和紫外灯。所述方法采用上述装置进行。本发明实现大规模生产的同时，极大提升了设备的灵活性和适用范围。
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公开(公告)号：CN109664493B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201811524382.2
申请日：2018-12-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于功能薄膜的技术领域，并公开了一种可图形化调控功能薄膜润湿性的高效等离子体方法。该方法包括下列步骤：(a)选取一维纳米材料和粘性热塑性材料制备基体薄膜；(b)采用等离子体射流在相应的气体氛围下来回扫描基体薄膜的一维纳米材料，以此将所述基体薄膜的表面疏水化/亲水化，即获得所需的功能薄膜；(c)再次采用等离子射流在功能薄膜上局部逐点扫描或者图案化扫描形成亲水/疏水图案，该亲水/疏水图案用于调节所述功能薄膜的润湿性。通过本发明，为高效收集空气中水分或者表面复杂流道提供了一种有效的新途径，在调控微区润湿性、微流道、新能源等领域有着潜在的应用。
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公开(公告)号：CN109094200B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201810898865.2
申请日：2018-08-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于喷印装置技术领域，并具体公开了一种空间分布可调的阵列集成式喷印装置和方法，其包括箱体、布置在箱体内部呈阵列分布的喷头组以及用于调节喷头位置的移动组件，喷头组中的喷头包括由上至下依次设置的固定接头、衔接头、中间接头和输出头，中间接头内部开设有通孔及气体输入通道，通孔内安装有从输出头下端穿出的石英管，其出口作为喷嘴，其内插装有高压电极，高压电极与石英管之间留有间隙，高压电极中空部分作为墨液通道；每一喷头组对应设置有移动组件，用于安装喷头并调节喷头的位置，箱体内设置有电极板和紫外灯。所述方法采用上述装置进行。本发明实现大规模生产的同时，极大提升了设备的灵活性和适用范围。
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公开(公告)号：CN108539052B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201810293196.6
申请日：2018-03-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种封装柔性显示薄膜的装置、系统及方法，包括箱体、气体通道组件、喷头阵列组件。本发明将喷头阵列组件和气体通道组件在箱体内交错排列，其位置和数量可以根据实际封装层数的需要进行调整。喷头阵列组件与有机墨液腔相连，下面通过两块平行的带电平板对雾化墨液进行平面聚焦，可以实现有机薄膜的制取；通过向前驱体通道交替输入前驱气体和惰性气体，可以实现无机薄膜的制备。本发明将ALD和电喷印有机结合，克服传统的单一OLED封装技术的缺点，可以高效地同时进行多层有机‑无机薄膜的制备，能够大大提高封装效率和降低封装成本，在柔性OLED封装领域具有潜在的应用前景。
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