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公开(公告)号：CN103036146A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210493440.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S5/042
Abstract: 一种准分子激光器脉冲电源，属于脉冲功率技术，解决现有脉冲电源中高压磁开关需要较复杂复位电路的问题，以简化电路结构，提高可靠性。本发明包括IGBT开关管、开关管驱动电路、一级磁开关、直流偏置电流源、可饱和脉冲变压器和二级磁开关。本发明在一级磁开关压缩电路设置直流偏置电流源，可控制调节初级储能电路能量转移效率、脉冲压缩宽度以及脉冲延时；利用可饱和脉冲变压器次级绕组和二级磁开关两端充放电电压方向相反的特殊性，省去了磁芯复位电路，两级磁开关均可在长期高重复率条件下工作，具有较强的通流能力和较高的耐压承受等级，故障率极低且基本免维护；特别适用于要求精准延时控制的光刻用短脉冲放电激励的气体激光器。
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公开(公告)号：CN103001108A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210513358.5
申请日：2012-12-03
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明公开了一种准分子激光再生放大器，包括依次位于同一光路上的第一反射镜、第一波片、耦合镜、放大腔、第二波片和第二反射镜；第一、第二波片均为四分之一波片，第一、第二反射镜为全反镜，且其反射面均朝向放大腔，耦合镜与放大腔的光轴之间的夹角等于耦合镜的布鲁斯角的余角。本发明通过在放大器内放置波片使输入光与输出光尽管位于耦合镜两侧，方向相同，但两者被很好地隔离，利于消除再生放大腔对主振荡器的影响，并且结构简单，便于调整，能够充分提取放大腔中的能量。
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公开(公告)号：CN103049028B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201210494571.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: G05F1/56
Abstract: 一种用于高压磁开关复位的恒流源，属于功率电子技术，解决现有恒流源缺乏高压隔离电路的问题，以用于高电压脉冲场合。本发明包括全桥逆变器、谐振电路、整流桥、高频滤波电路、反馈电路和控制电路。本发明利用MOS场效应管工作在零电流状态，使得输入的能量可以近乎无损耗地传输给串联谐振电路；通过调节MOS场效应管周期可以调节输出电流的大小，输出具有恒流源的特性，无须在输出端提供额外的镇流电阻；采用由滤波电感、滤波电容、隔离二极管和钳位二极管组成的高频滤波电路，阻断了脉冲电源中磁开关或变压器的复位电路中耦合的高压脉冲的影响，确保了恒流源的安全性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103094823A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310034367.0
申请日：2013-01-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明公开了一种准分子激光功率振荡器谐振腔，包括45°底角的等腰梯形棱镜、压电陶瓷、第一等腰直角棱镜、第二等腰直角棱镜、放大腔，第一、第二等腰直角棱镜斜面朝向放大腔，等腰梯形棱镜底边与第一等腰直角棱镜直角边平行紧靠放置，压电陶瓷的位移量由精密位移控制器的输出电压控制，可以实现纳米级的调节。在压电陶瓷的作用下等腰梯形棱镜底边与第一等腰直角棱镜直角边之间的空气厚度d可调，空气d决定了入射光与出射光的耦合率。该谐振腔结构耦合率的变化不需要更换耦合镜，腔长短，能够有效提取放大器能量。
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公开(公告)号：CN103001109A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210513378.2
申请日：2012-12-03
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明属于准分子激光技术领域，提供了一种准分子激光器环形腔调节装置和方法。所述装置包括参考光源，用于产生校准所用参考光束；反射镜，小孔光阑和屏。所述方法尤其适用于环形腔调节参考光与准分子激光同轴方法。该方法以放电腔在两密封窗口外的荧光光斑中心为基准确定放电腔光轴位置，通过调整环形腔内两面反射镜来使参考光绕环形腔一周后与其刚进入耦合镜的二次反射光在近点与远点光斑重合，从而实现准分子激光器环形腔腔体的调整。本发明克服了传统方法的局限性，将环形腔的调节简化为腔外两光束重合的调节，调节精度高，不需要拆除密封窗口，不需要额外的测量仪器，操作简单。
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公开(公告)号：CN103001108B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210513358.5
申请日：2012-12-03
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明公开了一种准分子激光再生放大器，包括依次位于同一光路上的第一反射镜、第一波片、耦合镜、放大腔、第二波片和第二反射镜；第一、第二波片均为四分之一波片，第一、第二反射镜为全反镜，且其反射面均朝向放大腔，耦合镜与放大腔的光轴之间的夹角等于耦合镜的布鲁斯角的余角。本发明通过在放大器内放置波片使输入光与输出光尽管位于耦合镜两侧，方向相同，但两者被很好地隔离，利于消除再生放大腔对主振荡器的影响，并且结构简单，便于调整，能够充分提取放大腔中的能量。
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公开(公告)号：CN103036146B
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201210493440.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S5/042
Abstract: 一种准分子激光器脉冲电源，属于脉冲功率技术，解决现有脉冲电源中高压磁开关需要较复杂复位电路的问题，以简化电路结构，提高可靠性。本发明包括IGBT开关管、开关管驱动电路、一级磁开关、直流偏置电流源、可饱和脉冲变压器和二级磁开关。本发明在一级磁开关压缩电路设置直流偏置电流源，可控制调节初级储能电路能量转移效率、脉冲压缩宽度以及脉冲延时；利用可饱和脉冲变压器次级绕组和二级磁开关两端充放电电压方向相反的特殊性，省去了磁芯复位电路，两级磁开关均可在长期高重复率条件下工作，具有较强的通流能力和较高的耐压承受等级，故障率极低且基本免维护；特别适用于要求精准延时控制的光刻用短脉冲放电激励的气体激光器。
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公开(公告)号：CN103049028A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210494571.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: G05F1/56
Abstract: 一种用于高压磁开关复位的恒流源，属于功率电子技术，解决现有恒流源缺乏高压隔离电路的问题，以用于高电压脉冲场合。本发明包括全桥逆变器、谐振电路、整流桥、高频滤波电路、反馈电路和控制电路。本发明利用MOS场效应管工作在零电流状态，使得输入的能量可以近乎无损耗地传输给串联谐振电路；通过调节MOS场效应管周期可以调节输出电流的大小，输出具有恒流源的特性，无须在输出端提供额外的镇流电阻；采用由滤波电感、滤波电容、隔离二极管和钳位二极管组成的高频滤波电路，阻断了脉冲电源中磁开关或变压器的复位电路中耦合的高压脉冲的影响，确保了恒流源的安全性。
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