公开(公告)号：CN115326276A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202211026105.5

申请日：2022-08-25

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈天佑 ,  范继 ,  肖成林

IPC: G01L21/12 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01L27/00

Abstract: 本发明公开了皮拉尼真空计的温度补偿、环境真空度的计算方法和设备，属于皮拉尼真空计领域。包括：在[10‑5Pa,105Pa]区间内确定目标皮拉尼真空计的压强工作区间；测量参考温度T0、各离散压强下目标皮拉尼真空计的电阻值，测量参考压强P0、各离散温度下目标皮拉尼真空计的电阻值，所述离散压强为采样压强工作区间得到；对P0下皮拉尼真空计的电阻值随温度变化的函数进行插值拟合，得到电阻率温度系数α，构建比例关系k(T)＝1+α·(T‑T0)；对于温度T和压强P反复选择，使其覆盖工作全区间，预测选中T和P下的皮拉尼真空计的电阻值：R(T,P)＝R(T,P0)+k(T)·[R(T0,P)‑R(T0,P0)]。本发明通过计算不同温度下、相同压强区间的电阻值之差，以其电阻值差值的比例呈现，将大量的参数约去，简化标定过程，节省大量人力物力。

公开(公告)号：CN115326276B

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202211026105.5

申请日：2022-08-25

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈天佑 ,  范继 ,  肖成林

IPC: G01L21/12 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01L27/00

Abstract: 本发明公开了皮拉尼真空计的温度补偿、环境真空度的计算方法和设备，属于皮拉尼真空计领域。包括：在[10‑5Pa,105Pa]区间内确定目标皮拉尼真空计的压强工作区间；测量参考温度T0、各离散压强下目标皮拉尼真空计的电阻值，测量参考压强P0、各离散温度下目标皮拉尼真空计的电阻值，所述离散压强为采样压强工作区间得到；对P0下皮拉尼真空计的电阻值随温度变化的函数进行插值拟合，得到电阻率温度系数α，构建比例关系k(T)＝1+α·(T‑T0)；对于温度T和压强P反复选择，使其覆盖工作全区间，预测选中T和P下的皮拉尼真空计的电阻值：R(T,P)＝R(T,P0)+k(T)·[R(T0,P)‑R(T0,P0)]。本发明通过计算不同温度下、相同压强区间的电阻值之差，以其电阻值差值的比例呈现，将大量的参数约去，简化标定过程，节省大量人力物力。