公开(公告)号：CN115079513B

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202210590241.0

申请日：2022-05-26

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 黄永安 ,  王宝丽 ,  田雨 ,  叶冬

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/16 ,  H05K3/10 ,  H05K3/12 ,  H05K3/18 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明属于柔性电子器件制备相关技术领域，其公开了一种基板结构化处理的嵌入式微纳器件及其喷印制备方法，包括以下步骤：(1)提供纳米压印模板，纳米压印模板的表面上形成有多个拱形的条状凸起；(2)在柔性透明基板上旋涂聚合物胶液，并采用纳米压印模板连续压合进所聚合物胶液，进而得到结构化基板，得到的聚合物胶层形成有多个沟道；(3)对结构化基板进行局部亲/疏水处理，以使沟道的底面及侧壁面具有亲水性，沟道侧壁的上表面具有疏水性；(4)利用电流体喷印方式在结构化基板的沟道内填充纳米金属浆料，进而得到嵌入式微纳器件。本发明实现了大面积、曲面制造，克服了现有制造技术的局限性，还具有成本低、效率高等优点。

公开(公告)号：CN115079513A

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN202210590241.0

申请日：2022-05-26

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 黄永安 ,  王宝丽 ,  田雨 ,  叶冬

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/16 ,  H05K3/10 ,  H05K3/12 ,  H05K3/18 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明属于柔性电子器件制备相关技术领域，其公开了一种基板结构化处理的嵌入式微纳器件及其喷印制备方法，包括以下步骤：(1)提供纳米压印模板，纳米压印模板的表面上形成有多个拱形的条状凸起；(2)在柔性透明基板上旋涂聚合物胶液，并采用纳米压印模板连续压合进所聚合物胶液，进而得到结构化基板，得到的聚合物胶层形成有多个沟道；(3)对结构化基板进行局部亲/疏水处理，以使沟道的底面及侧壁面具有亲水性，沟道侧壁的上表面具有疏水性；(4)利用电流体喷印方式在结构化基板的沟道内填充纳米金属浆料，进而得到嵌入式微纳器件。本发明实现了大面积、曲面制造，克服了现有制造技术的局限性，还具有成本低、效率高等优点。