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发明公开
一种选通管器件及其制备方法审中-公开

公开(公告)号：CN119894361A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202510360979.1

申请日：2025-03-26

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 王兴晟 , 林桐晖 , 卢晗 , 刘盼 , 缪向水

IPC: H10N70/20 , H10N70/00

Abstract: 本发明属于微纳米电子技术领域，具体涉及一种选通管器件及其制备方法，其自下而上依次为第一金属电极层、开关层以及第二金属电极层；所述开关层为金属氧化物掺杂金属单质，所述金属单质为能够在电场作用下发生氧化还原反应的金属；具体制备方法为在衬底上沉积第一金属电极层；在所述第一金属电极层上沉积开关层；然后在所述开关层上沉积第二金属电极层，得到初始器件；最后对所述初始器件进行退火处理，得到选通管器件，以达到制备的选通管器件具有低漏电流、开关比大、陡峭的开关斜率、开态电流提高以及耐久性高的技术效果。

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