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公开(公告)号：CN117794351A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311808398.7
申请日：2023-12-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提出了一种提高铪基铁电隧穿结器件电流开关比的操作方法及系统，涉及微纳米电子技术领域。操作方法包括如下步骤：S1、对铪基铁电隧穿结器件进行加热升温；S2、向所述铪基铁电隧穿结器件施加具有双极性的电压；S3、将所述铪基铁电隧穿结器件降温至初始温度；S4、将所述铪基铁电隧穿结器件进行退火处理。操作系统包括升温模块、电压操作模块、降温模块和退火模块。通过采用加热过后进行电压操作的方式，离子活动所需能量较低，在铁电层的能带中产生陷阱能级，从而发生陷阱辅助隧穿的导电机制，提高器件开态电流，对器件实施最后的退火可以消除在隧穿层中产生的自由离子，抑制器件的关态电流，从而提升铪基铁电隧穿结器件电流开关比。
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