公开(公告)号：CN114123853A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202111399135.6

申请日：2021-11-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 张海涛 ,  黄翔 ,  李秀婷 ,  陈智勇 ,  王志岳 ,  易明磊 ,  张逸伦

IPC: H02N2/06 ,  H02N2/02 ,  G06F17/16 ,  G01Q60/24

Abstract: 本发明公开了一种原子力显微镜压电驱动器的多轴耦合迟滞预测方法，采集原子力显微镜压电管扫描器X轴由Y轴耦合产生的位移时间序列，利用观测函数和Koopman算子将原来的数据提升到高维空间，将多轴耦合非线性关系用线性的方程表示，其中利用提升数据构造汉克矩阵，并且利用两次降维，得到系统的模态信息，最终实现多轴耦合模型的建立。本发明所设计的预测方法能够对原子力显微镜压电管扫描器的多轴耦合进行建模，并对多轴耦合位移进行预测，可以在后期控制中有效提高原子力显微镜的高速高精成像，该方法能够推广于其他压电陶瓷驱动器产品中。

公开(公告)号：CN114123853B

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN202111399135.6

申请日：2021-11-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 张海涛 ,  黄翔 ,  李秀婷 ,  陈智勇 ,  王志岳 ,  易明磊 ,  张逸伦

IPC: H02N2/06 ,  H02N2/02 ,  G06F17/16 ,  G01Q60/24

Abstract: 本发明公开了一种原子力显微镜压电驱动器的多轴耦合迟滞预测方法，采集原子力显微镜压电管扫描器X轴由Y轴耦合产生的位移时间序列，利用观测函数和Koopman算子将原来的数据提升到高维空间，将多轴耦合非线性关系用线性的方程表示，其中利用提升数据构造汉克矩阵，并且利用两次降维，得到系统的模态信息，最终实现多轴耦合模型的建立。本发明所设计的预测方法能够对原子力显微镜压电管扫描器的多轴耦合进行建模，并对多轴耦合位移进行预测，可以在后期控制中有效提高原子力显微镜的高速高精成像，该方法能够推广于其他压电陶瓷驱动器产品中。