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公开(公告)号：CN118259050A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410321337.6
申请日：2024-03-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 本申请属于惯性传感器测试技术领域，具体公开了一种基于多频振动激励的加速度计频率响应一致性测试方法，包括：根据待测频率范围，确定待测频率序列；遍历待测频率序列中的每一个待测频率，针对遍历到的待测频率执行响应一致性分析操作；基于参考频率处待测加速度计与基准待测加速度计之间的单频响应一致性基准值，对响应一致性分析结果执行归一化操作。通过抑制振动设备自身的不稳定等共模干扰对评估的影响以及通过抑制环境波动对加速度计之间频率响应一致性测试的影响，相比于现有测试方案，能够显著地提升测试精度。并且通过同时对多个待测加速度计进行测试，实现克服现有方案中一次只能测试一个加速度计的缺陷，能够有效地简化测试流程。
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公开(公告)号：CN117074721A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311056135.5
申请日：2023-08-21
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种基于双频激励方式测量加速度计非线性的方法及装置，属于加速度计测试技术领域，方法包括以下步骤：确定待测加速度计所在振动装置的振动转动耦合系数；振动转动耦合系数为振动装置受到振动激励信号作用时振动装置台面倾斜角度与振动装置位移之间的线性系数；获取待测加速度计在双频振动激励信号作用下的输出信号，基于输出信号确定待测加速度计的非线性系数；其中，双频振动激励信号施加在待测加速度计所在振动装置，双频振动激励信号的频率差根据振动转动耦合系数确定，使得振动装置非线性失真引入的加速度误差与振动装置台面转动引入的加速度误差相互抵消。本发明有助于提高加速度计的测量准确性和可靠性，推动相关领域的发展。
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公开(公告)号：CN117805439A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311817450.5
申请日：2023-12-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种校准ng级精度加速度计全模型参数的方法及装置，属于加速度计测试技术领域，方法包括：计算多位置测试过程中加速度计摆轴、输入轴和输出轴的重力加速度分量；多位置测试过程包括：摆状态多位置测试过程、门状态多位置测试过程和双轴转动模块绕倾斜轴旋转的多位置测试过程；将多位置测试过程中加速度计摆轴、输入轴和输出轴的重力加速度分量代入加速度计的非线性模型方程，获取多位置测试过程的加速度计输出表达式；使用谐波分析法，结合多位置测试过程的加速度计输出表达式，获取加速度计部分参数；计算加速度计壳体坐标系到加速度计坐标系的变换矩阵，获取加速度计失准角。本发明实现了ng级精度加速度计全模型参数的校准。
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公开(公告)号：CN102525384B
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201110437262.0
申请日：2011-12-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明涉及一种光纤悬臂共振型扫描器的二维栅格式扫描方法，包括光纤悬臂，光纤悬臂共振型扫描器和驱动信号，按如下步骤进行：1)通过数值模拟计算，得到扫描器的各阶振动模态和共振频率的仿真值；2)根据各阶振动模态和共振频率的仿真值，进行扫频实验测试并在仿真预测值附近寻找确定实际值的确切位置；3)根据应用场合，选择合适的低阶振动模态，用于在一个方向上进行帧扫描；4)根据对图像像素数目大小的要求，选择合适的高阶振动模态，用于在另一个方向上实现行扫描；5)采用两路正弦信号源，对扫描器在两个方向上同时驱动，从而进行二维栅格式扫描，本发明具有扫描速度快、轨迹均匀、动态稳定性高、所需的驱动信号容易获取等优势。
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公开(公告)号：CN101923218B
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201010245427.X
申请日：2010-08-04
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B26/10
Abstract: 本发明涉及单光纤扫描微器件及制备方法和控制方法，单光纤扫描微器件为四片压电陶瓷包裹一段末端去掉涂覆层光纤，将四片压电陶瓷块的两头粘在光纤周围并预留出一段裸光纤，四片陶瓷片形成一个四方腔体，在四片陶瓷片的外壁各自用锡焊接出导线，腔体上四片陶瓷片的内壁用导电胶导通并引出一根导线，水平方向两块相对的陶瓷片的导线相连，竖直方向两块相对的陶瓷片的导线相连。本发明制作的单光纤扫描微器件不但长度短、体积小、扫描重复性好，而且原材料易于获得、加工容易、制造成本低。这些优势让其在光学精密仪器以及临床内窥术等领域的照明和信号采集等装置上具有良好的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102525384A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110437262.0
申请日：2011-12-23
Applicant: 华中科技大学
Inventor： 李智
Abstract: 本发明涉及一种光纤悬臂共振型扫描器的二维栅格式扫描方法，包括光纤悬臂，光纤悬臂共振型扫描器和驱动信号，按如下步骤进行：1)通过数值模拟计算，得到扫描器的各阶振动模态和共振频率的仿真值；2)根据各阶振动模态和共振频率的仿真值，进行扫频实验测试并在仿真预测值附近寻找确定实际值的确切位置；3)根据应用场合，选择合适的低阶振动模态，用于在一个方向上进行帧扫描；4)根据对图像像素数目大小的要求，选择合适的高阶振动模态，用于在另一个方向上实现行扫描；5)采用两路正弦信号源，对扫描器在两个方向上同时驱动，从而进行二维栅格式扫描,本发明具有扫描速度快、轨迹均匀、动态稳定性高、所需的驱动信号容易获取等优势。
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公开(公告)号：CN118702053A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410695824.9
申请日：2024-05-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本申请提供了一种不同槽宽实现同步等速率刻蚀方法及掩膜获取方法，属于刻蚀工艺技术领域，其主要按照不同槽宽相互形成连通架构的掩膜设置，通过控制不同槽的长宽比，在现有刻蚀设备的工艺允许条件下，实现不同槽的同步刻蚀。刻蚀方法包括：S1：利用光刻方法在晶圆上制备按照行列排列的长宽不同的槽图案，且每一列中的槽制备成连通架构；S2：对S1获取的有槽图案的晶圆进行等离子体干法刻蚀，实现对不等槽宽的槽等速率刻蚀。本申请在不需要额外增加工艺掩膜、光刻、刻蚀等成本的前提下，以最简单的方法适用于各种等离子体深刻蚀工艺，具有较好的应用场景。
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公开(公告)号：CN101923218A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010245427.X
申请日：2010-08-04
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B26/10
Abstract: 本发明涉及单光纤扫描微器件及制备方法和控制方法，单光纤扫描微器件为四片压电陶瓷包裹一段未端去掉涂覆层光纤，将四片压电陶瓷块的两头粘在光纤周围并预留出一段裸光纤，四片陶瓷片形成一个四方腔体，在四片陶瓷片的外壁各自用锡焊接出导线，腔体上四片陶瓷片的内壁用导电胶导通并引出一根导线，水平方向两块相对的陶瓷片的导线相连，竖直方向两块相对的陶瓷片的导线相连。本发明制作的单光纤扫描微器件不但长度短、体积小、扫描重复性好，而且原材料易于获得、加工容易、制造成本低。这些优势让其在光学精密仪器以及临床内窥术等领域的照明和信号采集等装置上具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN204719133U
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201520331939.6
申请日：2015-05-21
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01R27/02
Abstract: 本实用新型公开了一种用于结构健康监测的压电阻抗测量设备，该设备包括任意波形发生器、位于结构表面或内部的压电陶瓷片、电阻、数字示波器，该任意波形发生器用于激发出信号波，其与压电陶瓷片和电阻通过导线依次连接，以形成完整的电流回路；所述数字示波器外接于电流回路中，以用于测量任意波形发生器的激励电压以及电阻输入端和输出端的接收电压，由电阻输入端的接收电压与发生器的激励电压的差值得到所述压电陶瓷片两端的电压值，通过将所述压电陶瓷片两端的电压值除以所述电流回路的电流值即可得到所述压电陶瓷片的阻抗值。本套测量设备激励电压可控，操作简单，采集时间短，测量精度高，特别适用于各项工程项目的在线监测。
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公开(公告)号：CN204389428U
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201520075554.8
申请日：2015-02-03
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/02
Abstract: 本实用新型公开了一种用于结构健康监测的大理石封装压电传感器，包括圆形形状的压电陶瓷片，在该压电陶瓷片圆形上表面和圆形下表面的外环位置和内圆位置分别涂有导电涂层，所述外环位置的导电涂层与内圆位置的导电涂层不直接接触；连接导线与所述压电陶瓷片上表面和下表面外环位置的导电涂层连接；另一连接导线与所述压电陶瓷片上表面和下表面内圆位置的导电涂层连接；该压电陶瓷片的上表面和下表面外均涂有防水层，并位于大理石封装的内部。该压电传感器能够有效解决用于结构健康监测的压电传感器封装耗时长的问题，并且压电传感器的封装效果好、荷载能力强，能保证对压电传感器良好的支撑效果，从而确保压电传感器的测量精度。
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