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公开(公告)号：CN113866896B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111101147.6
申请日：2021-09-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B6/293
Abstract: 本发明公开了一种高Q值微环谐振器，输入波导和输出波导为单模波导，微环波导及其相邻的耦合波导均为多模波导。由于多模波导的宽度较大，能将大部分基模光场限制在波导内部，减少光场与侧壁的相互作用，降低侧壁粗糙导致的散射损耗，从而提高微环谐振器的本征Q值。第一欧拉波导和第二欧拉波导的曲率渐变，其缓变曲率半径将减小弯曲损耗，同时降低光场能量由基模向高阶模转换效率。耦合波导与微环波导满足模式匹配，抑制微环谐振器内高阶谐振模式被激发。利用多模欧拉波导曲率渐变的特性，通过弯曲欧拉波导实现微环波导与耦合波导之间耦合间隙渐变，降低耦合区域内光场模式失配导致的光损耗，从而进一步提高微环谐振器的本征Q值。
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公开(公告)号：CN113866896A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111101147.6
申请日：2021-09-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B6/293
Abstract: 本发明公开了一种高Q值微环谐振器，输入波导和输出波导为单模波导，微环波导及其相邻的耦合波导均为多模波导。由于多模波导的宽度较大，能将大部分基模光场限制在波导内部，减少光场与侧壁的相互作用，降低侧壁粗糙导致的散射损耗，从而提高微环谐振器的本征Q值。第一欧拉波导和第二欧拉波导的曲率渐变，其缓变曲率半径将减小弯曲损耗，同时降低光场能量由基模向高阶模转换效率。耦合波导与微环波导满足模式匹配，抑制微环谐振器内高阶谐振模式被激发。利用多模欧拉波导曲率渐变的特性，通过弯曲欧拉波导实现微环波导与耦合波导之间耦合间隙渐变，降低耦合区域内光场模式失配导致的光损耗，从而进一步提高微环谐振器的本征Q值。
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公开(公告)号：CN116500857A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310477875.X
申请日：2023-04-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明涉及一种薄膜铌酸锂光子器件的制备方法，涉及微纳加工领域。包括：在薄膜铌酸锂表面旋涂光刻胶，使用光刻机进行曝光并显影；通过电子束蒸发或磁控溅射工艺先后沉积形成一层钛膜和一层铬膜；湿法去除光刻胶，剥离得到由钛与铬构成的金属硬掩模；借助干法刻蚀，去除掩模未遮蔽区域的铌酸锂材料；湿法腐蚀金属掩模。本发明的硬掩模采用了钛与铬的双层薄膜结构，可以有效避免铬掩模碎裂的情况，同时，在器件图形密集区可以实现更好的剥离效果，有效避免剥离过程中掩模碎屑对掩模结构的损伤，提升刻蚀掩模的质量，改善光子器件性能。
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公开(公告)号：CN113866881B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202111101225.2
申请日：2021-09-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种模斑转换器，采用基于超表面结构的菲涅尔微透镜，其中第一超表面结构包括在波导材料上刻蚀的多个长度相同、宽度不同的亚波长凹槽，第二超表面结构包括在波导材料上刻蚀的多个长度不同、宽度相同的亚波长凹槽；两种超表面结构组合使用能减小器件尺寸，同时也避免刻蚀极小线宽的步骤，从而降低了工艺要求；能够使单模输入光在维持其模式阶次的情况下改变其模场宽度。可以把宽模斑基模光束变成柱面波实现聚束的功能或者把柱面波变成宽模斑的基模光束实现扩束的功能。宽模斑基模的模场可以通过增加菲涅尔微透镜的周期数而加宽，可以满足多种应用场景的实际需要。本发明可以实现分束器，准直器等功能，适用于不同的应用场景。
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公开(公告)号：CN113866881A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111101225.2
申请日：2021-09-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种模斑转换器，采用基于超表面结构的菲涅尔微透镜，其中第一超表面结构包括在波导材料上刻蚀的多个长度相同、宽度不同的亚波长凹槽，第二超表面结构包括在波导材料上刻蚀的多个长度不同、宽度相同的亚波长凹槽；两种超表面结构组合使用能减小器件尺寸，同时也避免刻蚀极小线宽的步骤，从而降低了工艺要求；能够使单模输入光在维持其模式阶次的情况下改变其模场宽度。可以把宽模斑基模光束变成柱面波实现聚束的功能或者把柱面波变成宽模斑的基模光束实现扩束的功能。宽模斑基模的模场可以通过增加菲涅尔微透镜的周期数而加宽，可以满足多种应用场景的实际需要。本发明可以实现分束器，准直器等功能，适用于不同的应用场景。
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