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公开(公告)号：CN117169174B
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311425496.2
申请日：2023-10-31
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提出了一种光致发光成像与光谱测量的装置与方法，包括：位于放置待测半导体材料的载台的正上方的成像单元；设置在成像单元一侧的小孔单元，小孔单元的光路与成像单元的光路相互连通；可调谐光源单元与小孔单元光路连接，用于产生至少两种不同波长的光，对待测半导体材料进行光致激发，或者接收待测半导体材料反射的光；第一位移单元设置在成像单元的径向方向，用于调节所述小孔单元与成像单元的间距；第二位移单元设置在载台远离成像单元的一端，用于调节载台与成像单元的间距；其中，待测半导体材料表面反射的光还进入成像单元中实现成像探测。(56)对比文件苏龙龙.基于机器视觉的同时测试半导体致冷器件晶粒两个表面的光学检测装置的研究.万方中国学位论文数据库.2019,第15-35页.
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公开(公告)号：CN116500857A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310477875.X
申请日：2023-04-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明涉及一种薄膜铌酸锂光子器件的制备方法，涉及微纳加工领域。包括：在薄膜铌酸锂表面旋涂光刻胶，使用光刻机进行曝光并显影；通过电子束蒸发或磁控溅射工艺先后沉积形成一层钛膜和一层铬膜；湿法去除光刻胶，剥离得到由钛与铬构成的金属硬掩模；借助干法刻蚀，去除掩模未遮蔽区域的铌酸锂材料；湿法腐蚀金属掩模。本发明的硬掩模采用了钛与铬的双层薄膜结构，可以有效避免铬掩模碎裂的情况，同时，在器件图形密集区可以实现更好的剥离效果，有效避免剥离过程中掩模碎屑对掩模结构的损伤，提升刻蚀掩模的质量，改善光子器件性能。
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公开(公告)号：CN116482881A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310400677.3
申请日：2023-04-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提出了一种基于应变调控的锗硅耦合量子阱电致折射率调制器，包括衬底层、缓冲层、下隔离层、耦合量子阱区、上隔离层、盖帽层和N电极，绝缘介质层、右侧P电极、左侧P电极，还包括两个刻蚀窗口、脊形波导结构和悬空微桥结构，其中，衬底层具有悬空区域；耦合量子阱区包括多对五层耦合量子阱；两个刻蚀窗口对于脊形波导结构呈轴对称分布，两个刻蚀窗口之间的缓冲层、脊形波导结构、N电极、右侧P电极和左侧P电极形成悬空微桥结构。综上，本发明能够将量子阱区光吸收带边及电致折射率变化峰值移动至主流光通信C波段处，同时实现更大的电致折射率变化，使得电致折射率调制器调制效率更高且更具有实用性。
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公开(公告)号：CN111854980B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202010617899.7
申请日：2020-06-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微波光子学领域，公开了一种基于非对称π相移光纤光栅的波长漂移探测装置和方法。本发明通过采用相位调制、非对称π相移光纤光栅滤波、光路放大、温度控制等技术，可实现可调谐的单边带信号调制，然后将载波信号和单边带信号一同输入到掺铒布拉格光纤光栅的反射区域，被反射的信号在光电探测器中会产生拍频，利用拍频的变化来探测泵浦引起的掺铒布拉格光纤光栅反射谱的波长漂移。通过这种与微波领域相结合的方法，可以进行高精度的波长漂移测量，测试结果表明该系统的波长漂移测量精度为0.008nm，并且有望进一步提高。
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公开(公告)号：CN109119880A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201811125706.5
申请日：2018-09-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种声场驱动SBS激光器，声场驱动SBS激光器包括：微环谐振腔、直波导、第一支架、第二支架、衬底、泵浦光源、电声换能器和第三支架；其中，第一支架、第二支架与第三支架均置于衬底上；第一支架用于支撑直波导，第二支架用于支撑微环谐振腔，第三支架用于支撑电声换能器；直波导与微环谐振腔的一侧形成侧向耦合，泵浦光源通过直波导侧向耦合进微环谐振腔中，电声换能器与微环谐振腔的另一侧形成侧向接触。本发明通过电声换能器直接与微环谐振腔互相接触，声波直接进入微环谐振腔中，电声换能器注入的声场可加大微环谐振腔中的原始声场，声场与光场在微环谐振腔中相互重叠作用，由此产生低阈值高增益的SBS激光输出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108508539A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810233907.0
申请日：2018-03-21
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B6/293
Abstract: 本发明公开一种基于锥形非对称定向耦合器的硅基波分复用器，包括：(n+1)个输入波导、多个弯曲波导、n个不同宽度的锥形波导以及n个锥形连接器；第一个输入波导通过第一个锥形连接器与第一个锥形波导的一端相连接，第k个锥形波导的另一端通过第k+1个锥形连接器与第k+1个锥形波导的一端相连接；第i个输入波导通过至少一个弯曲波导耦合至第i-1个锥形波导组成第i-1个锥形非对称定向耦合器，第i-1个锥形非对称定向耦合器用于将第i个输入波导输入的光信号转换成对应的高阶模式并耦合到总线波导进行传输，其中，每个锥形非对称定向耦合器对应的高阶模式不同；本发明可以实现(n+1)个不同波长的复用。
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公开(公告)号：CN102169207B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201110139041.5
申请日：2011-05-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种周期极化反转铌酸锂光波导，包括衬底、位于衬底上的波导层、上光子晶体和下光子晶体，下光子晶体生长于衬底与波导层之间，上光子晶体生长于波导层上，所述上光子晶体和下光子晶体能够使周期极化反转铌酸锂光波导的基频光波长和倍频光波长均处在光子禁带内。所述的上光子晶体和下光子晶体为一维、二维或三维光子晶体。该周期极化反转铌酸锂光波导在波导层的上包层和下包层均制备了光子晶体，将周期极化反转铌酸锂光波导与光子晶体结合，使得光波导损耗低、转换效率高。
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公开(公告)号：CN101303507B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200810090831.7
申请日：2006-12-01
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于铌酸锂光波导环形腔的全光波长转换装置。该装置包括第一光耦合器、掺铒光纤放大器、偏振控制器、PPLN光波导、光隔离器、第二光耦合器和泵浦光波长选择器，依次沿顺时针方向光路连接，构成内置PPLN光波导的环形腔激光器。第一光耦合器和第二光耦合器分别对外提供信号光输入端口和转换空闲光输出端口。非线性光波导为PPLN光波导。泵浦光波长选择器为双波长选择器或多波长选择器。信号光和环形腔内部激射产生的泵浦光在PPLN光波导中发生非线性相互作用产生转换空闲光，从而实现波长转换。本发明可以实现单信道—双信道、单信道—多信道(广播式)可调谐波长转换以及输入输出均可调谐的波长转换，转换功能灵活，装置结构紧凑易实现，成本低廉。
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公开(公告)号：CN101989024A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200910161353.9
申请日：2009-07-31
IPC: G02F1/35
Abstract: 本发明实施例提供一种光信号的传输方法及装置。该方法包括：将接收的信号光与激射产生的泵浦光正向复用生成正向复用光，对正向复用光进行准相位匹配，生成包含TM模式转换闲频光和TE模式信号光的正向光束；将正向光束分解成泵浦光、TE模式信号光和TM模式转换闲频光；将TE模式信号光转换为TM模式信号光，将TM模式转换闲频光转换为TE模式转换闲频光；将泵浦光、TM模式信号光和TE模式转换闲频光反向复用生成反向复用光，对反向复用光进行准相位匹配，生成包含TM模式转换闲频光和TE模式转换闲频光的反向光束；将反向光束分解成泵浦光、TE模式转换闲频光和TM模式转换闲频光。本技术方案具有系统稳定、光路构造简单的优点。
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公开(公告)号：CN1996134A
公开(公告)日：2007-07-11
申请号：CN200610166524.3
申请日：2006-12-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02F1/35
Abstract: 本发明公开了一种非归零码到归零码全光码型转换装置。该装置包括可调光衰减器、偏振控制器、非线性光波导、二个可调谐滤波器、二个可调谐延时线和四个光耦合器，其中，非线性光波导为PPLN光波导或AlGaAs光波导；第一光耦合器的一个端口依次与第一可调谐延时线和可调光衰减器相连后与第二光耦合器连接，构成马赫－曾德尔干涉仪的上臂；第一光耦合器的另一端口依次经过第三光耦合器、偏振控制器、非线性光波导与第二光耦合器相连，构成马赫－曾德尔干涉仪的下臂。本发明装置实现的全光码型转换灵活性好，响应速度快，可以工作在40Gbit/s的高速情况下，而且转换过程不受自发辐射噪声的影响，具有结构简单，容易实现，以及可扩展性好等特点。
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