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公开(公告)号：CN103970159B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201410204253.0
申请日：2014-05-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种快充气型微正压保护系统，包括：经依次顺序连接的第一开关阀2、第一减压阀3和第二减压阀4分为两条支路，其中，一条支路经第一流量计5与毛细管6一端相连，另一支路经第二流量计7与第二开关阀8一端相连，毛细管6另一端和第二开关阀8另一端接过滤器9的一端，过滤器9另一端与目标腔体10一端相连，目标腔体10另一端与节流部件14相连，其中，所述目标腔体10为密封腔体，其内壁上布置有测量腔内压力的压力传感器11、用于测量腔内气体纯度的成分检测仪12、以及过压保护阀13。本发明实现了微正压保护系统初始化过程的快速充气功能，缩短了系统的初始化时间，同时还保证目标腔体在工作过程中的微正压稳定。
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公开(公告)号：CN103197508B
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201310070330.3
申请日：2013-03-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外光照射下的光学表面污染与清洁模拟装置，包括：氢原子发生器接口、电子枪、电子枪室、电子枪接口、曝光腔、冷却毛细管、试样台、试样台接口、气体引入设备、涡轮分子泵、前级泵、RGA、RGA接口、插板阀、放气阀、电阻规以及隔断阀，氢原子发生器接口、电子枪接口、试样台接口以及RGA接口均为开启，且固接在曝光腔上，电子枪接口与试样台接口对称设置在曝光腔的两侧，使得电子枪与试样台处于一条水平线上，氢原子发生器接口设置于腔体上方，且与电子枪接口的轴线垂直，RGA接口设置于实验装置的侧方。本发明能够解决现有装置中存在的不能同时实现光学表面污染和清洁实验功能、只有一套抽真空系统以及试样台不具备自由度的问题。
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公开(公告)号：CN103970159A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410204253.0
申请日：2014-05-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种快充气型微正压保护系统，包括：经依次顺序连接的第一开关阀2、第一减压阀3和第二减压阀4分为两条支路，其中，一条支路经第一流量计5与毛细管6一端相连，另一支路经第二流量计7与第二开关阀8一端相连，毛细管6另一端和第二开关阀8另一端接过滤器9的一端，过滤器9另一端与目标腔体10一端相连，目标腔体10另一端与节流部件14相连，其中，所述目标腔体10为密封腔体，其内壁上布置有测量腔内压力的压力传感器11、用于测量腔内气体纯度的成分检测仪12、以及过压保护阀13。本发明实现了微正压保护系统初始化过程的快速充气功能，缩短了系统的初始化时间，同时还保证目标腔体在工作过程中的微正压稳定。
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公开(公告)号：CN103197508A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310070330.3
申请日：2013-03-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外光照射下的光学表面污染与清洁模拟装置，包括：氢原子发生器接口、电子枪、电子枪室、电子枪接口、曝光腔、冷却毛细管、试样台、试样台接口、气体引入设备、涡轮分子泵、前级泵、RGA、RGA接口、插板阀、放气阀、电阻规以及隔断阀，氢原子发生器接口、电子枪接口、试样台接口以及RGA接口均为开启，且固接在曝光腔上，电子枪接口与试样台接口对称设置在曝光腔的两侧，使得电子枪与试样台处于一条水平线上，氢原子发生器接口设置于腔体上方，且与电子枪接口的轴线垂直，RGA接口设置于实验装置的侧方。本发明能够解决现有装置中存在的不能同时实现光学表面污染和清洁实验功能、只有一套抽真空系统以及试样台不具备自由度的问题。
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