一种MEMS陀螺仪
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110207685B

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN201910508920.7

    申请日:2019-06-13

    Abstract: 本发明公开一种MEMS陀螺仪,属于惯性测量器件领域。本发明的梳齿石英陀螺由具有一定厚度的z切石英晶体经过雕刻或者刻蚀加工而成,包括两个驱动叉指、两个感测叉指、多个驱动电极、多个感测电极和基座。驱动叉指和感测叉指并排布置并且均相距间隔,并关于基座中心线对称。驱动叉指和感测叉指的分离避免了叉指运动的耦合以及布置在叉指上的电极间的寄生耦合,保证了陀螺的测量精度。基座开圆弧槽和方槽结构降低了陀螺的工作模态阶数和工作频率,使得驱动叉指位移增大,还提高了叉指科式振动传递效率,从而增大了输出信号,并且隔离了陀螺的有效模态和干扰模态,保证了陀螺工作的稳定性。本发明的梳齿石英陀螺整体结构简单,易于加工。

    一种电缆隧道缺陷无损快速检测装置及其检测方法

    公开(公告)号:CN108303426B

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN201810117996.2

    申请日:2018-02-06

    Abstract: 本发明属于隧道缺陷检测领域,并公开了一种电缆隧道缺陷无损快速检测装置及其检测方法。所述机械臂包括多个连杆和关节点,该机械臂的同时与底盘和云台连接,用于调节云台的高度,云台上设置有红外热像仪和可见光摄像头,二者沿横向或纵向并列排列,拍摄隧道墙面的照片,用于检测隧道墙面是否存在裂纹和渗漏缺陷,该云台绕末端关节点水平旋转和俯仰运动时,使得红外热像仪和可见光摄像头检测位置相应发生变换;控制器设置在底盘上,通过底盘上的无线通信器与远程控制上位机连接,并进行数据的交互。同时本发明还公开了该检测装置的检测方法。通过本发明,实现检测速度快、检测精度高、无损检测和远程操控地对隧道检测。

    一种MEMS陀螺仪
    3.
    发明公开
    一种MEMS陀螺仪 审中-实审

    公开(公告)号:CN110207685A

    公开(公告)日:2019-09-06

    申请号:CN201910508920.7

    申请日:2019-06-13

    Abstract: 本发明公开一种MEMS陀螺仪,属于惯性测量器件领域。本发明的梳齿石英陀螺由具有一定厚度的z切石英晶体经过雕刻或者刻蚀加工而成,包括两个驱动叉指、两个感测叉指、多个驱动电极、多个感测电极和基座。驱动叉指和感测叉指并排布置并且均相距间隔,并关于基座中心线对称。驱动叉指和感测叉指的分离避免了叉指运动的耦合以及布置在叉指上的电极间的寄生耦合,保证了陀螺的测量精度。基座开圆弧槽和方槽结构降低了陀螺的工作模态阶数和工作频率,使得驱动叉指位移增大,还提高了叉指科式振动传递效率,从而增大了输出信号,并且隔离了陀螺的有效模态和干扰模态,保证了陀螺工作的稳定性。本发明的梳齿石英陀螺整体结构简单,易于加工。

    一种电缆隧道缺陷无损快速检测装置及其检测方法

    公开(公告)号:CN108303426A

    公开(公告)日:2018-07-20

    申请号:CN201810117996.2

    申请日:2018-02-06

    Abstract: 本发明属于隧道缺陷检测领域,并公开了一种电缆隧道缺陷无损快速检测装置及其检测方法。所述机械臂包括多个连杆和关节点,该机械臂的同时与底盘和云台连接,用于调节云台的高度,云台上设置有红外热像仪和可见光摄像头,二者沿横向或纵向并列排列,拍摄隧道墙面的照片,用于检测隧道墙面是否存在裂纹和渗漏缺陷,该云台绕末端关节点水平旋转和俯仰运动时,使得红外热像仪和可见光摄像头检测位置相应发生变换;控制器设置在底盘上,通过底盘上的无线通信器与远程控制上位机连接,并进行数据的交互。同时本发明还公开了该检测装置的检测方法。通过本发明,实现检测速度快、检测精度高、无损检测和远程操控地对隧道检测。

    一种MEMS陀螺仪
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN210570713U

    公开(公告)日:2020-05-19

    申请号:CN201920883255.5

    申请日:2019-06-13

    Abstract: 本实用新型公开一种MEMS陀螺仪,属于惯性测量器件领域。本实用新型的梳齿石英陀螺由具有一定厚度的z切石英晶体经过雕刻或者刻蚀加工而成,包括两个驱动叉指、两个感测叉指、多个驱动电极、多个感测电极和基座。驱动叉指和感测叉指并排布置并且均相距间隔,并关于基座中心线对称。驱动叉指和感测叉指的分离避免了叉指运动的耦合以及布置在叉指上的电极间的寄生耦合,保证了陀螺的测量精度。基座开圆弧槽和方槽结构降低了陀螺的工作模态阶数和工作频率,使得驱动叉指位移增大,还提高了叉指科式振动传递效率,从而增大了输出信号,并且隔离了陀螺的有效模态和干扰模态,保证了陀螺工作的稳定性。本实用新型的梳齿石英陀螺整体结构简单,易于加工。

    一种电缆隧道缺陷无损快速检测装置

    公开(公告)号:CN207816842U

    公开(公告)日:2018-09-04

    申请号:CN201820212440.7

    申请日:2018-02-06

    Abstract: 本实用新型属于隧道缺陷检测领域,并公开了一种电缆隧道缺陷无损快速检测装置。机械臂包括多个连杆和关节点,该机械臂的同时与底盘和云台连接,用于调节云台的高度,云台上设置有红外热像仪和可见光摄像头,二者沿横向或纵向并列排列,拍摄隧道墙面的照片,用于检测隧道墙面是否存在裂纹和渗漏缺陷,该云台绕末端关节点水平旋转和俯仰运动时,使得红外热像仪和可见光摄像头检测位置相应发生变换;控制器设置在底盘上,通过底盘上的无线通信器与远程控制上位机连接,并进行数据的交互。通过本实用新型,实现检测速度快、检测精度高、无损检测和远程操控地对隧道检测。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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