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公开(公告)号：CN106321707A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610914596.5
申请日：2016-10-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F9/05 , F16F3/04 , F16F6/00 , F16F15/023 , F16F15/03 , F16F15/067
CPC classification number: F16F9/05 , F16F3/04 , F16F6/005 , F16F15/0232 , F16F15/03 , F16F15/067 , F16F2228/066
Abstract: 本发明公开了一种两自由度超低频隔振器，其包括基础平台(10)和负载平台(30)，基础平台于：该隔振器还包括正刚度的空气弹簧(20)和负刚度可调的磁负刚度机构(28)，其沿基础平台和负载平台的中心轴线方向形成并联机构，从而降低该方向的固有频率；与所述中心轴线垂直方向设有刚度可调的正刚度片弹簧和负刚度的倒立摆，形成正负刚度并联机构，从而降低该方向的固有频率。本发明的隔振器沿基础平台和负载平台的中心轴线方向及其垂直方向均采用正负刚度并联式被动结构，同时实现两个自由度隔振。(10)与负载平台(30)通过支撑杆连接，其特征在
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公开(公告)号：CN107633868A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201710766232.1
申请日：2017-08-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明属于大行程高精度定位平台相关技术领域，其公开了一种二自由度气浮运动平台，其包括大理石底座、第一X向运动组件、第二X向运动组件及Y向运动组件，所述第一X向运动组件及所述第二X向运动组件分别设置在所述大理石底座相背的两端，所述Y向运动组件的两端分别连接于所述第一X向运动组件及所述第二X向运动组件；所述第一X向运动组件包括设置在所述大理石底座上的第一X向大理石导轨、套在所述第一X向大理石导轨上的第一X向滑块及第一X向水平气浮块，所述第一X向水平气浮块设置在所述第一X向滑块上，其用于自动调节所述第一X向滑块与所述第一X向大理石导轨之间的气膜厚度。本发明通过气浮块保持气膜厚度不变，提高定位精度。
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公开(公告)号：CN106286692B
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201610834355.X
申请日：2016-09-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F15/00 , F16F15/067 , G05B13/04
CPC classification number: F16F15/002 , F16F15/06 , F16M11/22 , G05B19/402 , G05B2219/37351 , G05B2219/39241 , H02N2/001 , H02N2/028 , H02N2/043
Abstract: 本发明的六自由度微振动抑制平台，包括基础平台、负载平台、完全相同的六套单自由度主被动复合隔振装置以及控制器，每套单自由度主被动复合隔振装置上下两端分别与负载平台和基础平台连接。本发明的控制方法，包括计算逻辑轴信号、计算逻辑轴控制信号、计算物理轴实时控制信号和传递步骤。本发明结构简单，刚度可调，能够对X轴、Y轴、Z轴的平动方向及转动方向的六自由度微振动进行抑制和隔离，能够适合不同的场合，可以有效的衰减不同频段的微振动，为微振动环境下的精密加工与测量设备提供可靠的保障，解决现有主被动复合隔振机构存在的结构复杂、控制方式繁琐的问题，实现多自由度振动抑制。
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公开(公告)号：CN113119076A
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202110456918.7
申请日：2021-04-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种三自由度并联机构的姿态闭环反馈控制方法和系统，属于三自由度并联机构控制领域。包括：S1.当检测到动平台实际姿态角与目标姿态角偏差超过预设阈值时，基于姿态角偏差计算动平台xyz各轴的当前转矩，根据动平台xyz各轴的当前转矩解算出各个电动推杆的出力；S2.将解算出的各个电动推杆的出力施加到对应电动推杆；S3.重复步骤S1‑S2，直至动平台实际姿态角与目标姿态角偏差未超过设定阈值。本发明通过动平台绕静平台定坐标系三个轴的转矩通过解耦矩阵解算到三个电动推杆的出力，避免了三个电动推杆的出力F1、F2、F3的耦合对绕下平台定坐标系转动的三个角度的影响，从而实现高精度稳定控制。
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公开(公告)号：CN107633868B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201710766232.1
申请日：2017-08-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明属于大行程高精度定位平台相关技术领域，其公开了一种二自由度气浮运动平台，其包括大理石底座、第一X向运动组件、第二X向运动组件及Y向运动组件，所述第一X向运动组件及所述第二X向运动组件分别设置在所述大理石底座相背的两端，所述Y向运动组件的两端分别连接于所述第一X向运动组件及所述第二X向运动组件；所述第一X向运动组件包括设置在所述大理石底座上的第一X向大理石导轨、套在所述第一X向大理石导轨上的第一X向滑块及第一X向水平气浮块，所述第一X向水平气浮块设置在所述第一X向滑块上，其用于自动调节所述第一X向滑块与所述第一X向大理石导轨之间的气膜厚度。本发明通过气浮块保持气膜厚度不变，提高定位精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106321707B
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201610914596.5
申请日：2016-10-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F9/05 , F16F3/04 , F16F6/00 , F16F15/023 , F16F15/03 , F16F15/067
Abstract: 本发明公开了一种两自由度超低频隔振器，其包括基础平台(10)和负载平台(30)，基础平台(10)与负载平台(30)通过支撑杆连接，其特征在于：该隔振器还包括正刚度的空气弹簧(20)和负刚度可调的磁负刚度机构(28)，其沿基础平台和负载平台的中心轴线方向形成并联机构，从而降低该方向的固有频率；与所述中心轴线垂直方向设有刚度可调的正刚度片弹簧和负刚度的倒立摆，形成正负刚度并联机构，从而降低该方向的固有频率。本发明的隔振器沿基础平台和负载平台的中心轴线方向及其垂直方向均采用正负刚度并联式被动结构，同时实现两个自由度隔振。
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公开(公告)号：CN113119076B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202110456918.7
申请日：2021-04-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种三自由度并联机构的姿态闭环反馈控制方法和系统，属于三自由度并联机构控制领域。包括：S1.当检测到动平台实际姿态角与目标姿态角偏差超过预设阈值时，基于姿态角偏差计算动平台xyz各轴的当前转矩，根据动平台xyz各轴的当前转矩解算出各个电动推杆的出力；S2.将解算出的各个电动推杆的出力施加到对应电动推杆；S3.重复步骤S1‑S2，直至动平台实际姿态角与目标姿态角偏差未超过设定阈值。本发明通过动平台绕静平台定坐标系三个轴的转矩通过解耦矩阵解算到三个电动推杆的出力，避免了三个电动推杆的出力F1、F2、F3的耦合对绕下平台定坐标系转动的三个角度的影响，从而实现高精度稳定控制。
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公开(公告)号：CN107477088B
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201710538142.7
申请日：2017-07-04
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16C29/12
Abstract: 本发明属于大行程高精度运动定位相关技术领域，其公开了一种间隙补偿机构，所述间隙补偿机构包括第一磁铁、第二磁铁、第三磁铁、支架及底座，所述第一磁铁、所述第三磁铁及所述第二磁铁依次间隔收容于所述底座内，所述第一磁铁及所述第二磁铁均连接于所述底座；所述第三磁铁在第一磁铁与第二磁铁间隙内移动时，所受第一磁铁与第二磁铁磁合力大小基本不变，在封闭型气浮导轨应用时，实现在保证气膜厚度不变的条件下，补偿导轨面间隙的变化；所述支架设置在所述底座上，其连接于所述第三磁铁，所述第三磁铁及所述支架通过同步移动以实现间隙补偿。所述间隙补偿机构的所述第三磁铁及所述支架通过同步移动来实现间隙补偿，且结构简单，灵活性较高。
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公开(公告)号：CN107477088A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710538142.7
申请日：2017-07-04
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16C29/12
CPC classification number: F16C29/12 , F16C29/001
Abstract: 本发明属于大行程高精度运动定位相关技术领域，其公开了一种间隙补偿机构，所述间隙补偿机构包括第一磁铁、第二磁铁、第三磁铁、支架及底座，所述第一磁铁、所述第三磁铁及所述第二磁铁依次间隔收容于所述底座内，所述第一磁铁及所述第二磁铁均连接于所述底座；所述第三磁铁在第一磁铁与第二磁铁间隙内移动时，所受第一磁铁与第二磁铁磁合力大小基本不变，在封闭型气浮导轨应用时，实现在保证气膜厚度不变的条件下，补偿导轨面间隙的变化；所述支架设置在所述底座上，其连接于所述第三磁铁，所述第三磁铁及所述支架通过同步移动以实现间隙补偿。所述间隙补偿机构的所述第三磁铁及所述支架通过同步移动来实现间隙补偿，且结构简单，灵活性较高。
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公开(公告)号：CN106286692A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610834355.X
申请日：2016-09-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F15/00 , F16F15/067 , G05B13/04
CPC classification number: F16F15/002 , F16F15/06 , F16M11/22 , G05B19/402 , G05B2219/37351 , G05B2219/39241 , H02N2/001 , H02N2/028 , H02N2/043 , F16F15/007 , F16F15/067 , F16F2224/0283 , F16F2230/18 , G05B13/042
Abstract: 本发明的六自由度微振动抑制平台，包括基础平台、负载平台、完全相同的六套单自由度主被动复合隔振装置以及控制器，每套单自由度主被动复合隔振装置上下两端分别与负载平台和基础平台连接。本发明的控制方法，包括计算逻辑轴信号、计算逻辑轴控制信号、计算物理轴实时控制信号和传递步骤。本发明结构简单，刚度可调，能够对X轴、Y轴、Z轴的平动方向及转动方向的六自由度微振动进行抑制和隔离，能够适合不同的场合，可以有效的衰减不同频段的微振动，为微振动环境下的精密加工与测量设备提供可靠的保障，解决现有主被动复合隔振机构存在的结构复杂、控制方式繁琐的问题，实现多自由度振动抑制。
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