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公开(公告)号:CN110044927B
公开(公告)日:2020-02-21
申请号:CN201910328209.3
申请日:2019-04-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种空间编码光场对曲面玻璃表面缺陷的检测方法,包括:根据选择的编码元数目以及第一窗口大小,生成具有窗口特性的一维伪随机序列;采用对角线法构建二维伪随机矩阵M;根据待测样品视场的特征点分布确定M'阵列大小;通过上下拼接以及对角拼接的方法将M阵列转换为M'阵列;通过对各不同编码元对应不同的几何图案,将M'阵列转换为M'阵列编码;将M'阵列编码转换为物体表面的编码图像,实现对曲面玻璃的缺陷检测;本发明通过将矩阵M转换为M'阵列,减少M'阵列行数与列数间的差距,提高了编码图像的分辨率;本发明采用上下拼接和对角拼接的方式,不仅能保证拼接的效率,同时在对待测样品的缺陷识别时准确度有所提高。
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公开(公告)号:CN110044932A
公开(公告)日:2019-07-23
申请号:CN201910330948.6
申请日:2019-04-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种曲面玻璃表面和内部缺陷的检测方法,属于曲面玻璃检测领域,以平行于曲面玻璃平面部分的线偏振光从曲面玻璃侧面入射至待检测曲面玻璃中,采用偏振相机在曲面玻璃平面部分的垂直线方向上采集待检测曲面玻璃的出射光,获得出射光的斯托克斯矢量S’,根据入射至曲面玻璃的线偏振光的斯托克斯矢量S,获得反应曲面玻璃的Mueller矩阵M’,最后根据M’和内部无任何缺陷的标准曲面玻璃样品的Mueller矩阵M,获得待检测曲面玻璃内部缺陷信息,完成检测,其中,线偏振光自身为平行光,而非发散光。本发明方法高效、成本低、能较好的检测曲面玻璃的表面和内部缺陷。
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公开(公告)号:CN110044929A
公开(公告)日:2019-07-23
申请号:CN201910329425.X
申请日:2019-04-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种基于暗场照明的曲面玻璃次表面缺陷检测装置,包括照明模块、图像采集模块和图像处理模块;照明模块包括激光光源、偏振分光镜、第一平面反射镜、第一拦光光阑、第二平面反射镜、第二拦光光阑、45°半透半反镜、扩束镜和第三平面反射镜;图像采集模块包括共主光轴依次设置的显微物镜、聚焦透镜和CCD;图像处理模块与图像采集模块相连;激光入射到偏振分光镜,经过偏振分光镜后得到两束偏振方向相互垂直的偏振光P波和S波,分别对待测件进行两路暗场照明得到包含待测件缺陷的散射光。本发明利用偏振分光镜得到两路照明光,一路照明光用来大致定位缺陷,另一路照明光用来精确定位缺陷,提高了检测装置的对比度,也简化了操作。
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公开(公告)号:CN110044931B
公开(公告)日:2021-03-26
申请号:CN201910330947.1
申请日:2019-04-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种曲面玻璃表面和内部缺陷的检测装置,属于曲面玻璃缺陷检测领域,其包括LED光源、起偏器、成像镜头和偏振相机,其中,起偏器设置在LED光源出射端,用于将通过自身的LED光起偏为偏振方向可调的线偏振光,工作时,线偏振光自身为平行光束,线偏振光位于待检测曲面玻璃侧面,且线偏振光平行于曲面玻璃的平面部分,偏振相机设置在曲面玻璃平面部分的垂直线上,用于采集从待检测曲面玻璃出射的携带后曲面玻璃缺陷信息的出射光,所述成像镜头设置在偏振相机上,用于与偏振相机协同工作而成像。本发明装置检测精确,效率高,成本低,能同时检测曲面玻璃内部和表面的缺陷。
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公开(公告)号:CN110044928A
公开(公告)日:2019-07-23
申请号:CN201910328571.0
申请日:2019-04-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种空间编码光场对曲面玻璃表面缺陷的检测装置,包括:投影仪、CCD相机和数据处理模块;所述投影仪通过接收编码指令调制单色光调制产生编码光线,并将其投影至曲面玻璃表面形成编码图像;所述编码图像的清晰度不受曲面玻璃状态的限制;所述CCD相机用于采集曲面玻璃表面的编码图像;所述数据处理模块用于为投影仪提供编码指令,并通过分析编码图像检测玻璃表面缺陷。本发明涉及的投影仪包括DMD芯片和双远心投影单元,实现在被测物体变形前后获取放大倍数恒定的编码图像,采用其对曲面玻璃表面缺陷进行检测,检测效率及准确度均会提升。
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公开(公告)号:CN110044929B
公开(公告)日:2020-05-19
申请号:CN201910329425.X
申请日:2019-04-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种基于暗场照明的曲面玻璃次表面缺陷检测装置,包括照明模块、图像采集模块和图像处理模块;照明模块包括激光光源、偏振分光镜、第一平面反射镜、第一拦光光阑、第二平面反射镜、第二拦光光阑、45°半透半反镜、扩束镜和第三平面反射镜;图像采集模块包括共主光轴依次设置的显微物镜、聚焦透镜和CCD;图像处理模块与图像采集模块相连;激光入射到偏振分光镜,经过偏振分光镜后得到两束偏振方向相互垂直的偏振光P波和S波,分别对待测件进行两路暗场照明得到包含待测件缺陷的散射光。本发明利用偏振分光镜得到两路照明光,一路照明光用来大致定位缺陷,另一路照明光用来精确定位缺陷,提高了检测装置的对比度,也简化了操作。
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公开(公告)号:CN110044931A
公开(公告)日:2019-07-23
申请号:CN201910330947.1
申请日:2019-04-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种曲面玻璃表面和内部缺陷的检测装置,属于曲面玻璃缺陷检测领域,其包括LED光源、起偏器、成像镜头和偏振相机,其中,起偏器设置在LED光源出射端,用于将通过自身的LED光起偏为偏振方向可调的线偏振光,工作时,线偏振光自身为平行光束,线偏振光位于待检测曲面玻璃侧面,且线偏振光平行于曲面玻璃的平面部分,偏振相机设置在曲面玻璃平面部分的垂直线上,用于采集从待检测曲面玻璃出射的携带后曲面玻璃缺陷信息的出射光,所述成像镜头设置在偏振相机上,用于与偏振相机协同工作而成像。本发明装置检测精确,效率高,成本低,能同时检测曲面玻璃内部和表面的缺陷。
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公开(公告)号:CN110044927A
公开(公告)日:2019-07-23
申请号:CN201910328209.3
申请日:2019-04-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种空间编码光场对曲面玻璃表面缺陷的检测方法,包括:根据选择的编码元数目以及第一窗口大小,生成具有窗口特性的一维伪随机序列;采用对角线法构建二维伪随机矩阵M;根据待测样品视场的特征点分布确定M'阵列大小;通过上下拼接以及对角拼接的方法将M阵列转换为M'阵列;通过对各不同编码元对应不同的几何图案,将M'阵列转换为M'阵列编码;将M'阵列编码转换为物体表面的编码图像,实现对曲面玻璃的缺陷检测;本发明通过将矩阵M转换为M'阵列,减少M'阵列行数与列数间的差距,提高了编码图像的分辨率;本发明采用上下拼接和对角拼接的方式,不仅能保证拼接的效率,同时在对待测样品的缺陷识别时准确度有所提高。
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公开(公告)号:CN110044932B
公开(公告)日:2021-07-27
申请号:CN201910330948.6
申请日:2019-04-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种曲面玻璃表面和内部缺陷的检测方法,属于曲面玻璃检测领域,以平行于曲面玻璃平面部分的线偏振光从曲面玻璃侧面入射至待检测曲面玻璃中,采用偏振相机在曲面玻璃平面部分的垂直线方向上采集待检测曲面玻璃的出射光,获得出射光的斯托克斯矢量S’,根据入射至曲面玻璃的线偏振光的斯托克斯矢量S,获得反应曲面玻璃的Mueller矩阵M’,最后根据M’和内部无任何缺陷的标准曲面玻璃样品的Mueller矩阵M,获得待检测曲面玻璃内部缺陷信息,完成检测,其中,线偏振光自身为平行光,而非发散光。本发明方法高效、成本低、能较好的检测曲面玻璃的表面和内部缺陷。
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公开(公告)号:CN110044930A
公开(公告)日:2019-07-23
申请号:CN201910330755.0
申请日:2019-04-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种基于暗场照明的曲面玻璃次表面缺陷检测方法,包括:激光光源产生的激光垂直入射到偏振棱镜得到出射方向相互垂直的P波和S波;遮挡S波,P波经扩束后入射到待测曲面玻璃,P波在待测曲面玻璃内发生全内反射的光与P波形成驻波对待测曲面玻璃进行第一次暗场照明;对第一次照明下的待测曲面玻璃次表面进行对焦,根据对焦后的图像调整P波入射方向后固定;遮挡P波,使S波与P波光路重合,经扩束后入射到待测曲面玻璃,S波在待测曲面玻璃内发生全内反射的光与S波形成驻波对待测曲面玻璃进行第二次暗场照明;采集第二次照明下包含曲面玻璃表面缺陷的图像。本发明进行两次照明,可以用来对于曲面玻璃内部的缺陷进行非破坏检测,提高了检测效率和检测对比度。
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