公开(公告)号：CN104201233B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201410456515.2

申请日：2014-09-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 罗俊 ,  别业华 ,  李维军 ,  张新宇 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  张天序 ,  谢长生

IPC: H01L31/108 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种基于超材料的肖特基型毫米波多谱信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极；其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列，所述金属开环共振单元阵列包含了多种图形及其特征尺寸参数，每个图形对于特定电磁波具有完全吸收特性，通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段，通过改变N型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中金属开环共振单元阵列的电磁波吸收强度。本发明具有多谱、高灵敏度和高速特性，通过选择不同金属开环共振单元结构并进行单片集成可以将探测器工作于毫米波的多个波段。

公开(公告)号：CN104241401B

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201410455189.3

申请日：2014-09-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 罗俊 ,  别业华 ,  李维军 ,  张新宇 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  张天序 ,  谢长生

IPC: H01L31/02 ,  H01L31/08 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种基于超材料的肖特基型太赫兹多谱信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极；其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列，金属开环共振单元阵列包含了多种图形及其特征尺寸参数，每个图形对于特定电磁波具有完全吸收特性，通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段，通过改变N型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中金属开环共振单元阵列的电磁波吸收强度。本发明具有多谱、高灵敏度和高速特性，通过选择不同金属开环共振单元结构并进行单片集成可以将探测器工作于太赫兹的多个波段。

公开(公告)号：CN104241434A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410455234.5

申请日：2014-09-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 罗俊 ,  别业华 ,  李维军 ,  张新宇 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  张天序 ,  谢长生

IPC: H01L31/108 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/02161 ,  H01L31/108 ,  H01L31/184

Abstract: 本发明公开了一种基于超材料的太赫兹单谱信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极；其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列，金属开环共振单元阵列包含了一种图形及其特征尺寸参数，该图形对于太赫兹电磁波具有完全吸收特性，通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段，通过改变N型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中金属开环共振单元阵列的电磁波吸收强度。本发明超材料层中金属开环共振单元的波长选择性和完美吸收特性，具有高灵敏度和高速特性，通过选择特定金属开环共振单元结构可以将探测器工作于太赫兹的一个特定波段。

公开(公告)号：CN104241433B

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201410455227.5

申请日：2014-09-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 罗俊 ,  别业华 ,  李维军 ,  张新宇 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  张天序 ,  谢长生

IPC: H01L31/108 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种基于超材料的肖特基型远红外多谱信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极；其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列，金属开环共振单元阵列包含了多种图形及其特征尺寸参数，每个图形对于特定电磁波具有完全吸收特性，通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段，通过改变N型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中金属开环共振单元阵列的电磁波吸收强度。本发明具有多谱、高灵敏度和高速特性，通过选择不同金属开环共振单元结构并进行单片集成可以将探测器工作于远红外的多个波段。

公开(公告)号：CN104241434B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201410455234.5

申请日：2014-09-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 罗俊 ,  别业华 ,  李维军 ,  张新宇 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  张天序 ,  谢长生

IPC: H01L31/108 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种基于超材料的太赫兹单谱信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极；其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列，金属开环共振单元阵列包含了一种图形及其特征尺寸参数，该图形对于太赫兹电磁波具有完全吸收特性，通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段，通过改变N型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中金属开环共振单元阵列的电磁波吸收强度。本发明超材料层中金属开环共振单元的波长选择性和完美吸收特性，具有高灵敏度和高速特性，通过选择特定金属开环共振单元结构可以将探测器工作于太赫兹的一个特定波段。

公开(公告)号：CN104218116A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201410454835.4

申请日：2014-09-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 罗俊 ,  别业华 ,  李维军 ,  张新宇 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  张天序 ,  谢长生

IPC: H01L31/108 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/02161 ,  H01L31/108 ,  H01L31/184

Abstract: 本发明公开了一种基于超材料的远红外单谱信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极。超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列，所述金属开环共振单元阵列包含了一种图形及其特征尺寸参数，该图形对于远红外电磁波具有完全吸收特性，通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段，通过改变N型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中金属开环共振单元阵列的电磁波吸收强度。本发明具有高灵敏度和高速特性，通过选择特定金属开环共振单元结构可以将探测器工作于远红外的一个特定波段。

公开(公告)号：CN104241414B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201410456538.3

申请日：2014-09-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 罗俊 ,  别业华 ,  李维军 ,  张新宇 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  张天序 ,  谢长生

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/108 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种基于超材料的毫米波单谱信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极；其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列，金属开环共振单元阵列包含了一种图形及其特征尺寸参数，该图形对于特定电磁波具有完全吸收特性，通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段，通过改变N型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中金属开环共振单元阵列的电磁波吸收强度。本发明超材料层中金属开环共振单元的波长选择性和完美吸收特性，具有高灵敏度和高速特性，通过选择特定金属开环共振单元结构可以将探测器工作于毫米波的一个特定波段。

公开(公告)号：CN104218116B

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：CN201410454835.4

申请日：2014-09-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 罗俊 ,  别业华 ,  李维军 ,  张新宇 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  张天序 ,  谢长生

IPC: H01L31/108 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种基于超材料的远红外单谱信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极。超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列，所述金属开环共振单元阵列包含了一种图形及其特征尺寸参数，该图形对于远红外电磁波具有完全吸收特性，通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段，通过改变N型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中金属开环共振单元阵列的电磁波吸收强度。本发明具有高灵敏度和高速特性，通过选择特定金属开环共振单元结构可以将探测器工作于远红外的一个特定波段。

公开(公告)号：CN104241433A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410455227.5

申请日：2014-09-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 罗俊 ,  别业华 ,  李维军 ,  张新宇 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  张天序 ,  谢长生

IPC: H01L31/108 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/02161 ,  H01L31/108 ,  H01L31/184

Abstract: 本发明公开了一种基于超材料的肖特基型远红外多谱信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极；其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列，金属开环共振单元阵列包含了多种图形及其特征尺寸参数，每个图形对于特定电磁波具有完全吸收特性，通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段，通过改变N型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中金属开环共振单元阵列的电磁波吸收强度。本发明具有多谱、高灵敏度和高速特性，通过选择不同金属开环共振单元结构并进行单片集成可以将探测器工作于远红外的多个波段。

公开(公告)号：CN104241414A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410456538.3

申请日：2014-09-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 罗俊 ,  别业华 ,  李维军 ,  张新宇 ,  佟庆 ,  雷宇 ,  桑红石 ,  张天序 ,  谢长生

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/108 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/1085 ,  H01L31/184

Abstract: 本发明公开了一种基于超材料的毫米波单谱信号探测器，包括自下而上依次设置的衬底层、N型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极；其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列，金属开环共振单元阵列包含了一种图形及其特征尺寸参数，该图形对于特定电磁波具有完全吸收特性，通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段，通过改变N型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中金属开环共振单元阵列的电磁波吸收强度。本发明超材料层中金属开环共振单元的波长选择性和完美吸收特性，具有高灵敏度和高速特性，通过选择特定金属开环共振单元结构可以将探测器工作于毫米波的一个特定波段。