皮秒激光诱导石英玻璃内部裂纹实现微流控器件制备的方法

    公开(公告)号:CN109551123A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201811539810.9

    申请日:2018-12-17

    Abstract: 本发明公开了一种皮秒激光诱导石英玻璃内部裂纹实现微流控器件制备的方法,先利用聚焦的时域调控皮秒激光在石英玻璃中辐照产生空间选择性微纳裂纹区域,然后通过化学腐蚀将辐照区域去除得到中空且连通的三维微结构,从而实现石英玻璃内部微通道结构的三维制备。本发明通过调控皮秒激光的脉冲宽度可实现偏振不敏感的三维均一性腐蚀,同时具有高的化学腐蚀速率和选择性,适用于大尺寸三维微流控系统制造和高精度三维打印玻璃结构等领域。

    皮秒激光诱导石英玻璃内部裂纹实现微流控器件制备的方法

    公开(公告)号:CN109551123B

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN201811539810.9

    申请日:2018-12-17

    Abstract: 本发明公开了一种皮秒激光诱导石英玻璃内部裂纹实现微流控器件制备的方法,先利用聚焦的时域调控皮秒激光在石英玻璃中辐照产生空间选择性微纳裂纹区域,然后通过化学腐蚀将辐照区域去除得到中空且连通的三维微结构,从而实现石英玻璃内部微通道结构的三维制备。本发明通过调控皮秒激光的脉冲宽度可实现偏振不敏感的三维均一性腐蚀,同时具有高的化学腐蚀速率和选择性,适用于大尺寸三维微流控系统制造和高精度三维打印玻璃结构等领域。

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