公开(公告)号：CN109551123A

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201811539810.9

申请日：2018-12-17

Applicant: 华东师范大学

Inventor： 程亚 ,  徐剑 ,  李晓龙 ,  林子杰 ,  王振华 ,  柴志方

IPC: B23K26/55 ,  B23K26/0622

Abstract: 本发明公开了一种皮秒激光诱导石英玻璃内部裂纹实现微流控器件制备的方法，先利用聚焦的时域调控皮秒激光在石英玻璃中辐照产生空间选择性微纳裂纹区域，然后通过化学腐蚀将辐照区域去除得到中空且连通的三维微结构，从而实现石英玻璃内部微通道结构的三维制备。本发明通过调控皮秒激光的脉冲宽度可实现偏振不敏感的三维均一性腐蚀，同时具有高的化学腐蚀速率和选择性，适用于大尺寸三维微流控系统制造和高精度三维打印玻璃结构等领域。

公开(公告)号：CN109701673A

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201910056960.2

申请日：2019-01-22

Applicant: 华东师范大学

Inventor： 程亚 ,  徐剑 ,  林子杰 ,  李晓龙 ,  方致伟

IPC: B01L3/00

Abstract: 本发明公开了一种三维大尺寸高精度微流控通道的制备方法，先利用超短脉冲激光直写辐照透明材料内部，产生高精度三维微通道图案和用于连接样品表面和内部微通道的若干个辅助通道图案，然后通过湿化学腐蚀处理选择性去除上述图案获得三维尺寸和形状不受限制、中空且连通的三维微通道和辅助通道组成的复合贯通结构，最后通过二氧化碳激光依次对所有辅助通道表面开口进行熔融、封闭从而实现三维大尺寸高精度三维微流控通道的可控制备。本发明通过利用二氧化碳激光熔融、封闭辅助通道的途径可提高三维微通道制备的效率、质量以及整体尺寸，适用于商业级和工业级三维微流控系统的高性能制造与集成。

公开(公告)号：CN109551123B

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN201811539810.9

申请日：2018-12-17

Applicant: 华东师范大学

Inventor： 程亚 ,  徐剑 ,  李晓龙 ,  林子杰 ,  王振华 ,  柴志方

IPC: B23K26/55 ,  B23K26/0622

Abstract: 本发明公开了一种皮秒激光诱导石英玻璃内部裂纹实现微流控器件制备的方法，先利用聚焦的时域调控皮秒激光在石英玻璃中辐照产生空间选择性微纳裂纹区域，然后通过化学腐蚀将辐照区域去除得到中空且连通的三维微结构，从而实现石英玻璃内部微通道结构的三维制备。本发明通过调控皮秒激光的脉冲宽度可实现偏振不敏感的三维均一性腐蚀，同时具有高的化学腐蚀速率和选择性，适用于大尺寸三维微流控系统制造和高精度三维打印玻璃结构等领域。

公开(公告)号：CN109701673B

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：CN201910056960.2

申请日：2019-01-22

Applicant: 华东师范大学

Inventor： 程亚 ,  徐剑 ,  林子杰 ,  李晓龙 ,  方致伟

IPC: B01L3/00

Abstract: 本发明公开了一种三维大尺寸高精度微流控通道的制备方法，先利用超短脉冲激光直写辐照透明材料内部，产生高精度三维微通道图案和用于连接样品表面和内部微通道的若干个辅助通道图案，然后通过湿化学腐蚀处理选择性去除上述图案获得三维尺寸和形状不受限制、中空且连通的三维微通道和辅助通道组成的复合贯通结构，最后通过二氧化碳激光依次对所有辅助通道表面开口进行熔融、封闭从而实现三维大尺寸高精度三维微流控通道的可控制备。本发明通过利用二氧化碳激光熔融、封闭辅助通道的途径可提高三维微通道制备的效率、质量以及整体尺寸，适用于商业级和工业级三维微流控系统的高性能制造与集成。