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公开(公告)号：CN115987395A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211237343.0
申请日：2022-10-10
Applicant: 北阳电机株式会社
Inventor： 林屋利明
IPC: H04B10/40 , H01L21/677
Abstract: 一种用于在自动导引车辆与衬底处理设备的装载端口之间发送和接收信号的通信系统，包括：第一通信单元，该第一通信单元具有被配置为与自动导引车辆执行光通信并且经由第一通信线路彼此连接的多个第一通信部分；以及第二通信单元，该第二通信单元具有分别连接到多个装载端口并且经由第二通信线路彼此连接的多个第二通信部分。多个第一通信部分中的每个第一通信部分与多个第二通信部分中的预定一个第二通信部分构成一对。而且，多个对中的一个对被设置为通信对，并且经由该通信对在多个第一通信部分与多个第二通信部分之间发送和接收信号。
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