公开(公告)号：CN119644534A

公开(公告)日：2025-03-18

申请号：CN202411915249.5

申请日：2024-12-24

Applicant: 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 ,  中国科学院微电子研究所

Inventor： 齐威 ,  齐月静 ,  马敬 ,  苏佳妮 ,  杨舒漫 ,  张肖依 ,  金浩 ,  沈志远 ,  孟璐璐

IPC: G02B7/00

Abstract: 本发明提供了一种多自由度光束对正调整系统及方法，其中多自由度光束对正调整系统包括光源、对正模块和调整模块，对正模块为矩形框体结构，对正模的左侧板正对光源设置，在对正模块的左侧板和右侧板上均设有圆孔；调整模块包括用于夹持光学元件的夹持组件、用于带动光学元件进行旋转的转台机构、用于进行光学元件的俯仰角度调整的上层调整机构以及用于进行光学元件的摇摆角度调整的下层调整机构，夹持组件安装于转台机构上，转台机构安装于上层调整机构上，上层调整机构安装于下层调整机构上。本发明通过对正模块检验光束是否对正，通过调整模块调整光学元件的姿态，通过对正模块与调整模块的结合实现对测量光路的精确装调定位。

公开(公告)号：CN117490607A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202311620962.2

申请日：2023-11-30

Applicant: 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 ,  中国科学院微电子研究所

Inventor： 马敬 ,  齐月静 ,  苏佳妮 ,  齐威 ,  孟璐璐 ,  金浩 ,  杨舒漫

IPC: G01B11/255

Abstract: 本发明涉及光学测量技术领域，尤其是涉及一种检测柱面曲率半径的装置及方法。检测柱面曲率半径的装置包括测量头，所述测量头用于检测待测柱面镜的曲率半径；所述测量头包括光源、十字分划板、分光镜、准直透镜、中继透镜和CCD相机；所述中继透镜为中继柱面镜。该装置的中继镜头采用柱面镜，则自准直仪的十字刻线经被测元件及柱面的中继透镜等在CCD相机上成清晰的十字像；可以更精确地调节待检元件的倾斜，实现柱面元件曲率半径的高精度检测。