Patent search ap:("北方民族大学") AND inv:"李海燕" Page 1

1.

发明公开
一种Ca掺杂MgO形成的复合薄膜的制备方法无效

公开(公告)号：CN109355626A

公开(公告)日：2019-02-19

申请号：CN201811325778.4

申请日：2018-11-08

Applicant: 北方民族大学

Inventor： 韦海成 , 李海燕 , 肖学峰 , 肖明霞 , 冯海清

IPC: C23C14/24 , C23C14/08

Abstract: 本发明涉及一种Ca掺杂MgO形成的复合薄膜的制备方法，其特征在于，预先在基板上喷涂MgO溶液，使基板的表层形成MgO晶种，然后再对所述基板进行蒸镀沉积，获得Ca掺杂MgO形成的复合薄膜；采用本发明所提供的制备方法，不仅可以降低复合薄膜生产工艺的难度，提高复合薄膜的结晶速度，提高生产效率，而且可以提高结晶质量，增加复合薄膜结构的强度，从而可以有效提高复合薄膜的性能。

Patent Agency Ranking