公开(公告)号：CN111785597A

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN202010718865.7

申请日：2020-07-23

Applicant: 北方夜视技术股份有限公司

Inventor： 张成 ,  司曙光 ,  任玲 ,  王兴超 ,  孙建宁 ,  李臻 ,  郭一亮 ,  李珅 ,  黄之瑶 ,  李冬

IPC: H01J9/12 ,  H01J43/24

Abstract: 本发明提供一种用于光电倍增管的硅通道板及其制备方法，包括：将硅片进行酸洗吹干；在吹干的硅片表面均匀涂覆光刻胶再覆盖掩膜版，采用紫外光照射数分钟后，使用显影液洗去表面光刻胶，在硅片表面获得与掩膜版图案相同或相反的图案；在硅片表面贵金属沉积，获得贵金属层，其中贵金属层在硅片表面形成纳米网状结构；将表面沉积贵金属的硅片放入配置好的HF-H2O2溶液中浸泡若干分钟进行表面蚀刻，获得相应深度的微孔结构；然后将蚀刻完毕的硅片取出，去除沉积的金属层，然后洗净吹干；将清洗完毕并吹干的硅微通道板在高温下氧化，获得氧化硅薄层。本发明通过微通道板结构改善，提高微通道板的增益一致性以及光电倍增管的能量分辨率。