一种加热式湿度传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN103698367A

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201310610529.0

    申请日:2013-11-27

    Abstract: 本发明公开了一种加热式湿度传感器,包括:衬底(1),还包括:湿度敏感电容和加热电路。衬底(1)为方形薄片,作为支撑结构置于最低层。加热电路环绕于湿度敏感电容的周围。两只加热式湿度传感器同时使用,一只加热除湿以及降温的过程中,另一只进行湿度测量;一个工作周期后两只互换工作方式。加热式湿度传感器的制作方法具体步骤为:选择衬底(1);制作加热电路;制作电容下电极(7);制作电容感湿介质层(12);制作电容上电极(13)。本发明在50℃~-90℃的环境温度范围内,湿度测量范围为0%~100%RH,湿度测量误差小于±3%,湿度分辨率小于0.1%,常温环境响应时间低于1s。

    一种老化实验的多通道数据传输装置

    公开(公告)号:CN105136187A

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201510558996.2

    申请日:2015-09-06

    Abstract: 本发明公开了一种老化实验的多通道数据传输装置,包括:空气箱(2)和中心控制计算机(3),还包括:老化夹具(1);老化夹具(1)包括老化台支架(6)和通道切换连接器(5),老化夹具(1)的老化台支架(6)通过螺栓固定在空气箱内,通道切换连接器(5)位于空气箱(2)外部,并与中心控制计算机(3)通过电缆连接,同时中心控制计算机(3)与空气箱(2)的控制电缆连接。该装置适用各种传感器、器件和组件的老化监测和标效,且自动化程度高,可实时对被测组件进行检测。

    一种加热式湿度传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN103698367B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201310610529.0

    申请日:2013-11-27

    Abstract: 本发明公开了一种加热式湿度传感器,包括:衬底(1),还包括:湿度敏感电容和加热电路。衬底(1)为方形薄片,作为支撑结构置于最低层。加热电路环绕于湿度敏感电容的周围。两只加热式湿度传感器同时使用,一只加热除湿以及降温的过程中,另一只进行湿度测量;一个工作周期后两只互换工作方式。加热式湿度传感器的制作方法具体步骤为:选择衬底(1);制作加热电路;制作电容下电极(7);制作电容感湿介质层(12);制作电容上电极(13)。本发明在50℃~-90℃的环境温度范围内,湿度测量范围为0%~100%RH,湿度测量误差小于±3%,湿度分辨率小于0.1%,常温环境响应时间低于1s。

    一种加热式湿度传感器
    5.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203606311U

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201320758802.X

    申请日:2013-11-27

    Abstract: 本实用新型公开了一种加热式湿度传感器,包括:衬底(1),还包括:湿度敏感电容和加热电路。衬底(1)为方形薄片,作为支撑结构置于最低层。加热电路环绕于湿度敏感电容的周围。加热式湿度传感器使用时,在同一数据采集板上安装两只独立的加热式湿度传感器,一只加热式湿度传感器加热除湿以及降温的过程中,另一只加热式湿度传感器进行湿度测量;一个工作周期后,两只加热式湿度传感器互换工作方式。本实用新型在50℃~-90℃的环境温度范围内,湿度测量范围为0%~100%RH,湿度测量误差小于±3%,湿度分辨率小于0.1%,常温环境响应时间低于1s。

Patent Agency Ranking