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公开(公告)号：CN103698367B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201310610529.0
申请日：2013-11-27
Applicant: 北京长峰微电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种加热式湿度传感器，包括：衬底（1），还包括：湿度敏感电容和加热电路。衬底（1）为方形薄片，作为支撑结构置于最低层。加热电路环绕于湿度敏感电容的周围。两只加热式湿度传感器同时使用，一只加热除湿以及降温的过程中，另一只进行湿度测量；一个工作周期后两只互换工作方式。加热式湿度传感器的制作方法具体步骤为：选择衬底（1）；制作加热电路；制作电容下电极（7）；制作电容感湿介质层（12）；制作电容上电极（13）。本发明在50℃～-90℃的环境温度范围内，湿度测量范围为0％～100％RH，湿度测量误差小于±3%，湿度分辨率小于0.1%，常温环境响应时间低于1s。
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公开(公告)号：CN103467983A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310420712.4
申请日：2013-09-16
Applicant: 北京长峰微电科技有限公司 , 北京化工大学
Abstract: 本发明公开了一种用于高空湿度探测的聚酰亚胺薄膜及其制备方法，聚酰亚胺薄膜是由聚酰胺酸高温酰亚胺化后得到的，聚酰胺酸由5%-20%的二胺和二酐混合物、80%-95%的非质子化溶剂组成，其中二胺和二酐混合物中二胺和二酐的摩尔质量比为1∶0.8～1.2。制备方法的具体步骤为：合成聚酰胺酸，稀释聚酰胺酸，制备聚酰胺酸薄膜，将聚酰胺酸薄膜连同衬底材料一同进行酰亚胺化；经过梯度升温热酰亚胺化后得到最终的聚酰亚胺薄膜。本发明的聚酰亚胺薄膜具有良好的吸湿脱湿特性，吸附和脱出水分子的速度快，湿度敏感性高；制备方法的实施过程简单，易于流程化，在湿度探测领域，尤其是高空湿度探测领域的应用前景好。
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公开(公告)号：CN103698367A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201310610529.0
申请日：2013-11-27
Applicant: 北京长峰微电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种加热式湿度传感器，包括：衬底（1），还包括：湿度敏感电容和加热电路。衬底（1）为方形薄片，作为支撑结构置于最低层。加热电路环绕于湿度敏感电容的周围。两只加热式湿度传感器同时使用，一只加热除湿以及降温的过程中，另一只进行湿度测量；一个工作周期后两只互换工作方式。加热式湿度传感器的制作方法具体步骤为：选择衬底（1）；制作加热电路；制作电容下电极（7）；制作电容感湿介质层（12）；制作电容上电极（13）。本发明在50℃～-90℃的环境温度范围内，湿度测量范围为0％～100％RH，湿度测量误差小于±3%，湿度分辨率小于0.1%，常温环境响应时间低于1s。
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公开(公告)号：CN103467983B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201310420712.4
申请日：2013-09-16
Applicant: 北京长峰微电科技有限公司 , 北京化工大学
Abstract: 本发明公开了一种用于高空湿度探测的聚酰亚胺薄膜及其制备方法，聚酰亚胺薄膜是由聚酰胺酸高温酰亚胺化后得到的，聚酰胺酸由5%-20%的二胺和二酐混合物、80%-95%的非质子化溶剂组成，其中二胺和二酐混合物中二胺和二酐的摩尔质量比为1：0.8～1.2。制备方法的具体步骤为：合成聚酰胺酸，稀释聚酰胺酸，制备聚酰胺酸薄膜，将聚酰胺酸薄膜连同衬底材料一同进行酰亚胺化；经过梯度升温热酰亚胺化后得到最终的聚酰亚胺薄膜。本发明的聚酰亚胺薄膜具有良好的吸湿脱湿特性，吸附和脱出水分子的速度快，湿度敏感性高；制备方法的实施过程简单，易于流程化，在湿度探测领域，尤其是高空湿度探测领域的应用前景好。
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公开(公告)号：CN203606311U
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201320758802.X
申请日：2013-11-27
Applicant: 北京长峰微电科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种加热式湿度传感器，包括：衬底（1），还包括：湿度敏感电容和加热电路。衬底（1）为方形薄片，作为支撑结构置于最低层。加热电路环绕于湿度敏感电容的周围。加热式湿度传感器使用时，在同一数据采集板上安装两只独立的加热式湿度传感器，一只加热式湿度传感器加热除湿以及降温的过程中，另一只加热式湿度传感器进行湿度测量；一个工作周期后，两只加热式湿度传感器互换工作方式。本实用新型在50℃～-90℃的环境温度范围内，湿度测量范围为0％～100％RH，湿度测量误差小于±3%，湿度分辨率小于0.1%，常温环境响应时间低于1s。
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