公开(公告)号：CN118117445A

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202410153710.1

申请日：2024-02-02

Applicant: 北京量子信息科学研究院 ,  中国科学院半导体研究所

Inventor： 陆全勇 ,  马钰 ,  吴大鹏 ,  黄睿欣 ,  张世晨 ,  李儒颂 ,  周斌茹 ,  翟慎强 ,  张锦川 ,  刘俊岐 ,  刘舒曼 ,  王利军 ,  卓宁 ,  刘峰奇

IPC: H01S5/223 ,  H01S5/34 ,  H01S5/024 ,  H01S5/20

Abstract: 本申请公开一种基于片上色散调控量子级联激光器光频梳及其制备方法，包括：衬底上依序生长下波导层、无源波导层、低掺波导层、高掺波导层、下限制层、有源区、上限制层、上波导层、欧姆接触层；在欧姆接触层表面生长SiO2层，并在表面形成双沟条形脊结构，腐蚀深度至下波导层；在双沟内填满半绝缘InP:Fe，去除残余SiO2层；欧姆接触层表面生长绝缘层；绝缘层表面制备正面金属电极窗口；绝缘层表面和正面金属电极窗口内，生长正面金属电极层；加厚正面金属电极层；将衬底减薄抛光，生长背面金属电极层，退火处理、封装，得量子级联激光器光频梳。解决了中红外量子级联激光器色散问题，良品率高，成本低廉，工艺简单，满足大规模应用制造需求。