公开(公告)号：CN104555899A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201410795565.3

申请日：2014-12-18

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 王琦 ,  高云霞 ,  潘志洪 ,  任晓敏

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明提出一种借助金属纳米颗粒缩小自卷曲微米管直径的方法，包括步骤：在衬底上，或在虚拟衬底上沉积缓冲层；在缓冲层上沉积牺牲层；在牺牲层上沉积应变薄膜；进行第一次光刻和腐蚀，使应变薄膜形成台面，使牺牲层暴露出来；进行第二次光刻，利用光刻胶形成图形窗口；沉积金属薄膜，高温退火使得金属薄膜形成金属纳米颗粒；对牺牲层进行侧向腐蚀，使得表面覆盖有金属纳米颗粒的应变薄膜自卷曲成管。本发明可在不改变薄膜厚度和应变下，仅借助金属纳米颗粒就能显著缩小自卷曲微米管的直径，可以容易地制备出直径在1微米附近的自卷曲微米管，甚至直径低至几百纳米的纳米管及其规则阵列，同时可保证微米管或纳米管具有优良的机械特性和结构特性。

公开(公告)号：CN104555899B

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201410795565.3

申请日：2014-12-18

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 王琦 ,  高云霞 ,  潘志洪 ,  任晓敏

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明提出一种借助金属纳米颗粒缩小自卷曲微米管直径的方法，包括步骤：在衬底上，或在虚拟衬底上沉积缓冲层；在缓冲层上沉积牺牲层；在牺牲层上沉积应变薄膜；进行第一次光刻和腐蚀，使应变薄膜形成台面，使牺牲层暴露出来；进行第二次光刻，利用光刻胶形成图形窗口；沉积金属薄膜，高温退火使得金属薄膜形成金属纳米颗粒；对牺牲层进行侧向腐蚀，使得表面覆盖有金属纳米颗粒的应变薄膜自卷曲成管。本发明可在不改变薄膜厚度和应变下，仅借助金属纳米颗粒就能显著缩小自卷曲微米管的直径，可以容易地制备出直径在1微米附近的自卷曲微米管，甚至直径低至几百纳米的纳米管及其规则阵列，同时可保证微米管或纳米管具有优良的机械特性和结构特性。