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公开(公告)号：CN104569064A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510062429.8
申请日：2015-02-06
Applicant: 北京邮电大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明实施例公开了一种石墨烯气体传感器及其制备方法。该方法首先在衬底上依次沉积牺牲层和应变薄膜，接着，直接在应变薄膜上制备石墨烯层或将已制备好的石墨烯层转移至应变薄膜上，通过光刻和腐蚀形成台面，同时将牺牲层暴露出来；然后在石墨烯层上继续沉积金属电极；最后，侧向腐蚀掉牺牲层，使得应变薄膜与衬底脱离自卷曲成管，从而得到附着在管内壁上的卷曲石墨烯气体传感器。该石墨烯气体传感器对多种气体分子都具有较高的灵敏度且为三维结构，器件尺寸小，制备方法简单，适于大批量、低成本制备。此外，直径可调控的管状结构不仅提供了待测气体的天然输运通道，还可与其它片上微纳功能单元集成构筑芯片实验室。
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公开(公告)号：CN107313046A
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201710334855.1
申请日：2017-05-12
Applicant: 北京邮电大学
Abstract: 本发明提供了一种SERS基底及其制备方法，涉及拉曼光谱技术领域。所述方法包括：S0，对衬底依次进行清洗和亲水性处理；S1，采用单分散的纳米小球、纳米晶或量子点，在所述衬底表面形成至少一层规则排布的自组装阵列结构；S2，在所述自组装阵列结构的顶部沉积金属活性层；S3，在所述金属活性层上覆盖碳基纳米材料层得到所述SERS基底。本发明在大面积规则排布的自组装阵列结构上沉积金属活性层，无需退火就可以形成周期性的金属纳米结构，接着覆盖碳基纳米材料层使得金属纳米结构与空气隔绝而避免或减缓其氧化过程，进而使得SERS基底不仅具有非常高的灵敏度，还能维持长久的活性。
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公开(公告)号：CN104569064B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201510062429.8
申请日：2015-02-06
Applicant: 北京邮电大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明实施例公开了一种石墨烯气体传感器及其制备方法。该方法首先在衬底上依次沉积牺牲层和应变薄膜，接着，直接在应变薄膜上制备石墨烯层或将已制备好的石墨烯层转移至应变薄膜上，通过光刻和腐蚀形成台面，同时将牺牲层暴露出来；然后在石墨烯层上继续沉积金属电极；最后，侧向腐蚀掉牺牲层，使得应变薄膜与衬底脱离自卷曲成管，从而得到附着在管内壁上的卷曲石墨烯气体传感器。该石墨烯气体传感器对多种气体分子都具有较高的灵敏度且为三维结构，器件尺寸小，制备方法简单，适于大批量、低成本制备。此外，直径可调控的管状结构不仅提供了待测气体的天然输运通道，还可与其它片上微纳功能单元集成构筑芯片实验室。
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公开(公告)号：CN107313046B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201710334855.1
申请日：2017-05-12
Applicant: 北京邮电大学
Abstract: 本发明提供了一种SERS基底及其制备方法，涉及拉曼光谱技术领域。所述方法包括：S0，对衬底依次进行清洗和亲水性处理；S1，采用单分散的纳米小球、纳米晶或量子点，在所述衬底表面形成至少一层规则排布的自组装阵列结构；S2，在所述自组装阵列结构的顶部沉积金属活性层；S3，在所述金属活性层上覆盖碳基纳米材料层得到所述SERS基底。本发明在大面积规则排布的自组装阵列结构上沉积金属活性层，无需退火就可以形成周期性的金属纳米结构，接着覆盖碳基纳米材料层使得金属纳米结构与空气隔绝而避免或减缓其氧化过程，进而使得SERS基底不仅具有非常高的灵敏度，还能维持长久的活性。
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