公开(公告)号：CN107293602B

公开(公告)日：2019-03-29

申请号：CN201710547609.4

申请日：2017-07-06

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 符秀丽 ,  温健 ,  刘招贤 ,  彭志坚

IPC: H01L31/02 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/09 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明涉及一种基于氧化锌/石墨烯/氧化锌三明治结构的光电探测器，属于材料应用技术领域。本发明技术首先采用烧结氧化锌陶瓷做靶材料，在射频磁控溅射设备中，在电绝缘的衬底上生长得到一层氧化锌薄膜；然后，用湿法转移技术在氧化锌薄膜上转移一层石墨烯；再在石墨烯层上，用射频磁控溅射技术生长一层氧化锌，从而得到了一种氧化锌/石墨烯/氧化锌三明治结构；最后，在上下两层氧化锌薄膜上镀制上金属电极，即得到所述基于氧化锌/石墨烯/氧化锌三明治结构的光电探测器。这种结构可以同时利用氧化锌薄膜对光吸收能力强和石墨烯透光率高、电子迁移率大、导电能力强的特点；基于这种复合结构材料的光电探测器信号强、响应快、探测灵敏度高。

公开(公告)号：CN107293602A

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：CN201710547609.4

申请日：2017-07-06

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 符秀丽 ,  温健 ,  刘招贤 ,  彭志坚

IPC: H01L31/02 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/09 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/09 ,  H01L31/02002 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/1836

Abstract: 本发明涉及一种基于氧化锌/石墨烯/氧化锌三明治结构的光电探测器，属于材料应用技术领域。本发明技术首先采用烧结氧化锌陶瓷做靶材料，在射频磁控溅射设备中，在电绝缘的衬底上生长得到一层氧化锌薄膜；然后，用湿法转移技术在氧化锌薄膜上转移一层石墨烯；再在石墨烯层上，用射频磁控溅射技术生长一层氧化锌，从而得到了一种氧化锌/石墨烯/氧化锌三明治结构；最后，在上下两层氧化锌薄膜上镀制上金属电极，即得到所述基于氧化锌/石墨烯/氧化锌三明治结构的光电探测器。这种结构可以同时利用氧化锌薄膜对光吸收能力强和石墨烯透光率高、电子迁移率大、导电能力强的特点；基于这种复合结构材料的光电探测器信号强、效应快、探测灵敏度高。