公开(公告)号：CN105092016B

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201510411902.9

申请日：2015-07-14

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 李振 ,  于文鹏 ,  王学锋 ,  殷爱民 ,  何哲玺 ,  张磊 ,  郝良彬

IPC: G01H9/00

Abstract: 一种MOEMS矢量水听器，包括：光纤(1)、光纤准直器(2)、基座(3)、硅基框架(4)、悬臂梁(5)及微型圆柱体(6)；硅基框架(4)中央架设悬臂梁(5)，安装在基座(3)内；光纤准直器(2)安装在基座(3)的安装孔(32)中，与悬臂梁(5)上对应的平台(51)间形成F‑P腔(16)；微型圆柱体(6)安装在悬臂梁(5)“十”字交叉处的平台(51)上，光纤(1)一端与光纤准直器(2)连接，另一端接入外部光路解调装置。本发明通过F‑P腔进行声‑机‑光转换，利用MOEMS技术将MEMS技术和光纤传感技术相结合，满足微型化、低功耗、抗电磁干扰的要求，实现水听器前端无源，实现对微弱声信号的高灵敏度、高分辨率检测。

公开(公告)号：CN105092016A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201510411902.9

申请日：2015-07-14

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 李振 ,  于文鹏 ,  王学锋 ,  殷爱民 ,  何哲玺 ,  张磊 ,  郝良彬

IPC: G01H9/00

Abstract: 一种MOEMS矢量水听器，包括：光纤(1)、光纤准直器(2)、基座(3)、硅基框架(4)、悬臂梁(5)及微型圆柱体(6)；硅基框架(4)中央架设悬臂梁(5)，安装在基座(3)内；光纤准直器(2)安装在基座(3)的安装孔(32)中，与悬臂梁(5)上对应的平台(51)间形成F-P腔(16)；微型圆柱体(6)安装在悬臂梁(5)“十”字交叉处的平台(51)上，光纤(1)一端与光纤准直器(2)连接，另一端接入外部光路解调装置。本发明通过F-P腔进行声-机-光转换，利用MOEMS技术将MEMS技术和光纤传感技术相结合，满足微型化、低功耗、抗电磁干扰的要求，实现水听器前端无源，实现对微弱声信号的高灵敏度、高分辨率检测。