公开(公告)号：CN113699486A

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN202110845593.1

申请日：2021-07-26

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 崔砚 ,  王长青 ,  姜雪冬 ,  刘冰洋 ,  李迈 ,  郭子忠 ,  张姗姗 ,  谢应隆 ,  刘立伟

IPC: C23C14/16 ,  C23C14/06 ,  C23C14/18 ,  C23C14/32 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明提供了一种铍材表面硬质复合膜及其制备方法，所述硬质复合膜由下至上依次包括厚度0.5μm～2.5μm的钛层、厚度12μm～22μm的氮化钛膜层、厚度0.1μm～1μm的钛层、以及厚度0.1μm～0.6μm的类金刚石膜层，类金刚石膜层为硬质复合膜的最上层。采用真空阴极电弧离子镀技术在铍材表面制备硬质复合膜，膜层结构致密、与基体结合良好、附着力高，能够显著提高铍基体表面硬度和耐摩擦磨损性能，且该方法具有良好的稳定性和可重复性。