公开(公告)号：CN119381231A

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN202411361430.6

申请日：2024-09-27

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 刘红涛 ,  李洋 ,  陈坤鹏 ,  郑捷 ,  王兰江 ,  韩中元 ,  刘猛 ,  赵明宇

IPC: H01J37/05 ,  C23C16/50 ,  C23C16/52 ,  H01J37/32 ,  G01R19/08

Abstract: 一种离子能量筛选装置及方法，包括：绝缘套筒的头部固定连接有前级；绝缘套筒的内侧沿轴向间隔设置有n个绝缘环和孔栅，n个绝缘环和孔栅形成多腔体组件；孔栅上加工有多个贯穿孔作为网孔，用于让等离子体通过；绝缘套筒的内侧还安装有收集极，收集极位于所述多腔体组件的后端，绝缘套筒的尾部固定连接有端盖，端盖用于封闭绝缘套筒的尾部；收集极用于收集筛选后的离子；陶瓷垫片套装在端盖的外侧。本发明通过在多个孔栅施加不同电压，达到排除电子，筛选离子的效果。并且能够控制获取具有一定离子能量范围的离子。在真空离子镀膜过程中，既能够用于对离子能量范围进行检测，也能够控制离子能量得到不同物理性能的膜层。