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公开(公告)号:CN101538062A
公开(公告)日:2009-09-23
申请号:CN200910082124.8
申请日:2009-04-14
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 一种纳米ZnO半导体结阵列及其制备方法,属于低维纳米材料和纳米技术领域。本方法采用CVD方法在Si衬底上制备出ZnO籽晶,然后将籽晶放置在溶液中继续生长;将溶液法生长后的产物进行热处理,冷却后再进行一次溶液法生长即可获得所需要的产物。在两次溶液法生长过程中可以对ZnO进行掺杂,实现ZnO半导体结的阵列化,且能实现在单个ZnO微米柱上生长纳米ZnO阵列。本方法不仅能够实现ZnO同质结阵列的生长,也可用来生长ZnO异质结阵列,且生长温度低,设备简单,成本低。
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公开(公告)号:CN101497425A
公开(公告)日:2009-08-05
申请号:CN200910079154.3
申请日:2009-03-03
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 一种氧化锌径向同质结及其制备方法,属于纳米材料和纳米技术领域,特别涉及一种氧化锌径向同质结及其制备方法。本发明采用化学气相沉积(CVD)方法在硅衬底上沉积氧化锌掺杂薄膜,以镓或氧化铟作为氧化锌中掺杂元素的蒸发源,将锌粉、镓或氧化铟与石墨粉以1∶7~1∶3的摩尔比混合后形成的混合源,放入石英舟中;将等体积的45~150mM的硝酸锌[Zn(NO3)2·6H2O]和45~100mM的六亚甲基四胺[C6H12N4]配成溶液,采用溶液法在CVD制备的产物上沿径向生长氧化锌包覆层,能够实现通过在掺杂氧化锌径向方向包覆一层未掺杂氧化锌,形成径向同质结,并且工艺简单,可以大量制备。
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公开(公告)号:CN102225871A
公开(公告)日:2011-10-26
申请号:CN201110099863.5
申请日:2011-04-20
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 一种Sn催化的Ga掺杂ZnO纳米线的制备方法,属于光电子信息功能材料领域,涉及一种掺杂ZnO纳米材料的制备技术。本发明采用化学气相沉积的方法,通过Sn的催化,在镀有金膜的硅片上获得大量Ga掺杂ZnO纳米线,纳米线的直径约25~90nm,长度为10~20μm。Ga的掺杂含量为0.5~15at.%,Sn的含量为0.5~6at.%。本发明通过控制Sn的含量,在有效改善ZnO形貌的同时,又保证了Ga掺杂ZnO纳米线的发光性能,扩大了ZnO原有领域的应用范围;由于采用的气流量比较小,生长时间相对比较短,其操作简单,成本低,效率高,并且对环境无污染。
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公开(公告)号:CN101497425B
公开(公告)日:2011-01-05
申请号:CN200910079154.3
申请日:2009-03-03
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 一种氧化锌径向同质结及其制备方法,属于纳米材料和纳米技术领域,特别涉及一种氧化锌径向同质结及其制备方法。本发明采用化学气相沉积(CVD)方法在硅衬底上沉积氧化锌掺杂薄膜,以镓或氧化铟作为氧化锌中掺杂元素的蒸发源,将锌粉、镓或氧化铟与石墨粉以1∶7~1∶3的摩尔比混合后形成的混合源,放入石英舟中;将等体积的45~150mM的硝酸锌[Zn(NO3)2·6H2O]和45~100mM的六亚甲基四胺[C6H12N4]配成溶液,采用溶液法在CVD制备的产物上沿径向生长氧化锌包覆层,能够实现通过在掺杂氧化锌径向方向包覆一层未掺杂氧化锌,形成径向同质结,并且工艺简单,可以大量制备。
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公开(公告)号:CN101538062B
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:CN200910082124.8
申请日:2009-04-14
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 一种纳米ZnO半导体结阵列及其制备方法,属于低维纳米材料和纳米技术领域。本方法采用CVD方法在Si衬底上制备出ZnO籽晶,然后将籽晶放置在溶液中继续生长;将溶液法生长后的产物进行热处理,冷却后再进行一次溶液法生长即可获得所需要的产物。在两次溶液法生长过程中可以对ZnO进行掺杂,实现ZnO半导体结的阵列化,且能实现在单个ZnO微米柱上生长纳米ZnO阵列。本方法不仅能够实现ZnO同质结阵列的生长,也可用来生长ZnO异质结阵列,且生长温度低,设备简单,成本低。
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公开(公告)号:CN102225871B
公开(公告)日:2012-11-28
申请号:CN201110099863.5
申请日:2011-04-20
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 一种Sn催化的Ga掺杂ZnO纳米线的制备方法,属于光电子信息功能材料领域,涉及一种掺杂ZnO纳米材料的制备技术。本发明采用化学气相沉积的方法,通过Sn的催化,在镀有金膜的硅片上获得大量Ga掺杂ZnO纳米线,纳米线的直径约25~90nm,长度为10~20μm。Ga的掺杂含量为0.5~15at.%,Sn的含量为0.5~6at.%。本发明通过控制Sn的含量,在有效改善ZnO形貌的同时,又保证了Ga掺杂ZnO纳米线的发光性能,扩大了ZnO原有领域的应用范围;由于采用的气流量比较小,生长时间相对比较短,其操作简单,成本低,效率高,并且对环境无污染。
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