公开(公告)号：CN104164658A

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN201410383700.3

申请日：2014-08-06

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 唐伟忠 ,  李义锋 ,  苏静杰 ,  刘艳青 ,  丁明辉 ,  王歌

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/511

CPC classification number: H01J37/32192 ,  C23C16/274 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32247 ,  H01J37/32256

Abstract: 本发明为一种椭球形高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置，该装置由阶梯状环形微波耦合系统、设置于环形天线阶梯处的环形石英微波窗口、椭球形微波谐振腔、可调节沉积台、圆锥形上反射体和可调节圆柱形下反射体，进出气口，测温孔和观察窗等组成。此装置利用椭球的上下焦点设计，圆锥形上微波反射体位于上焦点，沉积台位于下焦点，电场分布集中，激发等离子体位置稳定、密度高；隐藏的微波窗口避免被等离子体加热、污染、刻蚀；可调节的微波下反射体和沉积台实时地优化等离子体分布；椭球形谐振腔内壁距离高温等离子体区较远，减弱等离子体对腔室内壁的热辐射，避免沉积异物；装置各部件采用水冷。此装置可在高功率下实现大面积高品质金刚石膜的高效沉积。