公开(公告)号：CN104164658A

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN201410383700.3

申请日：2014-08-06

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 唐伟忠 ,  李义锋 ,  苏静杰 ,  刘艳青 ,  丁明辉 ,  王歌

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/511

CPC classification number: H01J37/32192 ,  C23C16/274 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32247 ,  H01J37/32256

Abstract: 本发明为一种椭球形高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置，该装置由阶梯状环形微波耦合系统、设置于环形天线阶梯处的环形石英微波窗口、椭球形微波谐振腔、可调节沉积台、圆锥形上反射体和可调节圆柱形下反射体，进出气口，测温孔和观察窗等组成。此装置利用椭球的上下焦点设计，圆锥形上微波反射体位于上焦点，沉积台位于下焦点，电场分布集中，激发等离子体位置稳定、密度高；隐藏的微波窗口避免被等离子体加热、污染、刻蚀；可调节的微波下反射体和沉积台实时地优化等离子体分布；椭球形谐振腔内壁距离高温等离子体区较远，减弱等离子体对腔室内壁的热辐射，避免沉积异物；装置各部件采用水冷。此装置可在高功率下实现大面积高品质金刚石膜的高效沉积。

公开(公告)号：CN103695865A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201310687614.7

申请日：2013-12-13

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 唐伟忠 ,  李义锋 ,  苏静杰 ,  刘艳青 ,  丁明辉 ,  李小龙 ,  姚鹏丽

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/517 ,  C23C16/511 ,  C23C16/513

CPC classification number: H01J37/32192 ,  C23C16/274 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32247 ,  H01J37/32256

Abstract: 本发明TM021模式的高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置，该装置由上下圆柱体、可调节的上腔体和微波反射板、沉积台、微波同轴激励口，微波石英窗口，进出气口，测温孔和观察窗等组成。此装置拥有TM021模式的电场分布，具有微波谐振腔内电场分布集中，激发等离子体位置稳定的特点。该装置可通过其调节机构实时地优化装置中等离子体的分布。置于沉积台下方的环状微波石英窗口可避免被等离子体过度加热、污染和刻蚀。谐振腔内壁距离高温等离子体区较远，减弱了对腔室内壁的热辐射和避免沉积异物。装置各主要部件可直接水冷。上述优点使得此装置可被应用于较高功率的微波输入，实现大面积高品质金刚石膜的高效沉积。

公开(公告)号：CN103668127A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310674092.7

申请日：2013-12-10

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 唐伟忠 ,  苏静杰 ,  李义锋 ,  刘艳青 ,  丁明辉 ,  李小龙 ,  姚鹏丽

IPC: C23C16/511 ,  C23C16/27

CPC classification number: H01J37/32192 ,  C23C16/274 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32247 ,  H01J37/32256

Abstract: 一种圆顶式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置，适用于高功率微波输入下高品质金刚石膜的快速制备。谐振腔主体由圆顶反射体、金属薄板反射体、石英环窗口、圆柱反射体和沉积台所组成。金属薄板反射体可以阻挡微波向谐振腔顶部的传播，使微波更多地聚集于基片上方。沉积台分为中心沉积台和边缘沉积台两部分，二者的独立上下移动功能利于实现等离子体状态的快速优化。石英环窗口隐藏于谐振腔壁形成的狭缝间，既可以躲避等离子体的刻蚀，又利于谐振腔真空性能的提高。另外，良好的水冷系统设计保证了设备在高功率下运行的安全。诸多的优点汇集到一起，使得该圆顶式微波等离子体化学气相沉积装置具备在高功率水平下高速沉积高品质金刚石膜的能力。