公开(公告)号：CN105271099B

公开(公告)日：2017-06-16

申请号：CN201510598708.6

申请日：2015-09-18

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 宋荣昌 ,  关平 ,  陈庆森 ,  申跃跃 ,  吕永佳

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及一种MEMS电热致动器及其制造工艺，解决了独立加工的问题，实现了工作电压小、变形大、功耗小和反应快。电热致动器为悬臂梁，梁(2)包括上层(7)、中层(5)、下层(3)、粘合层(4)和绝缘层(6)，上层材料和下层材料的热膨胀系数不同，中层(5)为加热层，粘合层(4)位于中层(5)与下层(3)之间，绝缘层(6)将中层(5)的上表面覆盖，在绝缘层(6)上嵌入有两个电极，两个电极分别与加热层的“U”形上部两端侧面接触，且两个电极与上层(7)为一体，梁固定端的下层底部为基底层。

公开(公告)号：CN105271099A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510598708.6

申请日：2015-09-18

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 宋荣昌 ,  关平 ,  陈庆森 ,  申跃跃 ,  吕永佳

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及一种MEMS电热致动器及其制造工艺，解决了独立加工的问题，实现了工作电压小、变形大、功耗小和反应快。电热致动器为悬臂梁，梁(2)包括上层(7)、中层(5)、下层(3)、粘合层(4)和绝缘层(6)，上层材料和下层材料的热膨胀系数不同，中层(5)为加热层，粘合层(4)位于中层(5)与下层(3)之间，绝缘层(6)将中层(5)的上表面覆盖，在绝缘层(6)上嵌入有两个电极，两个电极分别与加热层的“U”形上部两端侧面接触，且两个电极与上层(7)为一体，梁固定端的下层底部为基底层。