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公开(公告)号：CN102205940A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110103286.2
申请日：2011-04-25
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及的是一种在通电状态下工作的双金属电热致动器，具体的说是电热致动器由主体三层材料构成，上下两层热膨胀系数差异较大的材料和一种夹在热膨胀系数较大材料中间的电加热层材料，为了配合MEMS加工工艺，并且提高结构效率，本发明最终由八层材料构成，所用到的加工工艺包括淀积、光刻、蒸镀/溅射、掺杂、切割。本发明工作过程是通电使电加热层产生焦耳热使双金属电热致动器在上下两层材料的热膨胀系数之差的作用下产生片外的翘曲变形，以此达到致动目的。本发明是一种在恶劣环境下可反复利用的、低功耗的、快速响应的，变形较大的电热致动器。
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公开(公告)号：CN105271099B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201510598708.6
申请日：2015-09-18
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种MEMS电热致动器及其制造工艺，解决了独立加工的问题，实现了工作电压小、变形大、功耗小和反应快。电热致动器为悬臂梁，梁(2)包括上层(7)、中层(5)、下层(3)、粘合层(4)和绝缘层(6)，上层材料和下层材料的热膨胀系数不同，中层(5)为加热层，粘合层(4)位于中层(5)与下层(3)之间，绝缘层(6)将中层(5)的上表面覆盖，在绝缘层(6)上嵌入有两个电极，两个电极分别与加热层的“U”形上部两端侧面接触，且两个电极与上层(7)为一体，梁固定端的下层底部为基底层。
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公开(公告)号：CN105271099A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510598708.6
申请日：2015-09-18
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种MEMS电热致动器及其制造工艺，解决了独立加工的问题，实现了工作电压小、变形大、功耗小和反应快。电热致动器为悬臂梁，梁(2)包括上层(7)、中层(5)、下层(3)、粘合层(4)和绝缘层(6)，上层材料和下层材料的热膨胀系数不同，中层(5)为加热层，粘合层(4)位于中层(5)与下层(3)之间，绝缘层(6)将中层(5)的上表面覆盖，在绝缘层(6)上嵌入有两个电极，两个电极分别与加热层的“U”形上部两端侧面接触，且两个电极与上层(7)为一体，梁固定端的下层底部为基底层。
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公开(公告)号：CN102259821A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN201010566014.1
申请日：2010-11-25
Applicant: 北京理工大学
IPC: B81B7/00
Abstract: 一种杠杆式片状互锁的微机电系统(MEMS)机构，涉及MEMS结构和精确定位技术，属微机械领域。整个机构为一片状结构，该机构能在加速度较低的情况下使滑块移动，移动到预定位置时与杠杆互锁，准确定位，并且在反向的力作用时不易脱开。主要技术特征是：此MEMS杠杆式片状互锁机构由滑块，“杠杆”，外边框组成。受离心力作用的滑块运动到位后由“杠杆”上的卡头和其自身结构上的凹槽配合锁闭，滑块精准定位并且不会回弹；各部分可分别加工，然后按照预先的设计进行装配即可，实施性简单；杠杆和外边框的安装利用半圆形卡头和卡槽，可以方便和可靠的安装在一起。
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