公开(公告)号：CN119439482A

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202411765148.4

申请日：2024-12-03

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 王华 ,  谢会开 ,  曹英超 ,  贾宜龙 ,  邓耀宇 ,  徐思佳 ,  魏博宇 ,  齐强先

IPC: G02B26/08 ,  G02B7/182

Abstract: 本发明公开了一种用于降低动态变形的微镜结构，包括镜面、扭转梁、外框架、连接杆和环连杆，所述外框架设置于所述所述镜面的外部，所述外框架连接所述扭转梁；所述连接杆包括I型连接杆、II型连接杆和III型连接杆；所述镜面与所述外框架之间设置有所述I型连接杆、所述III型连接杆和所述环连杆，所述I型连接杆的内端连接所述镜面，所述I型连接杆的外端连接所述环连杆，所述III型连接杆的内端和外端分别连接所述镜面和所述外框架，所述环连杆能够连接相邻两个所述I型连接杆或相邻两个所述III型连接杆或相邻的I型连接杆和III型连接杆；本发明中的用于降低动态变形的微镜结构，在周期旋转运动时能够显著降低动态变形。

公开(公告)号：CN119493233A

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202411765176.6

申请日：2024-12-03

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 王华 ,  谢会开 ,  曹英超 ,  齐强先 ,  贾宜龙 ,  邓耀宇 ,  徐思佳 ,  魏博宇

IPC: G02B7/182 ,  G02B26/08 ,  F16F15/06 ,  F16F15/073

Abstract: 本发明公开了一种抗冲击快反镜及其制造方法，涉及快反镜技术领域，抗冲击快反镜包括：镜面结构和衬底，所述镜面结构位于所述衬底的上方，所述镜面结构上还设置有上驱动电极结构和反射层，所述衬底上设置有下驱动电极结构，所述上驱动电极结构和所述下驱动电极结构之间存在间隙，且所述下驱动电极结构与所述镜面结构之间设置有缓冲结构。本发明的抗冲击快反镜及其制造方法能够提高抗冲击能力，以确保在各种恶劣环境下依然能够高效工作。

公开(公告)号：CN119535769A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202411718417.1

申请日：2024-11-27

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 曹英超 ,  谢会开 ,  王华 ,  徐思佳 ,  邓燿宇 ,  吴烨恺 ,  贾宜龙

IPC: G02B26/08 ,  B81C1/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种静电平板驱动微镜的制作方法，涉及驱动微镜技术领域，包括：步骤一、制作一面带有底部驱动电极的衬底；制作一面带有空腔结构的晶圆；步骤二、将晶圆带有空腔结构的一面与衬底带有底部驱动电极的一面键合；步骤三、在晶圆远离衬底的表面上制作镜面反射层和地电极焊盘；步骤四、对晶圆进行刻蚀并使得剩余材料构成镜板、外框组件、扭转梁和导热梁，镜板位于外框组件内，镜板和外框组件通过扭转梁和导热梁连接；步骤五、除去导热梁。本发明提供的静电平板驱动微镜的制作方法在大量刻蚀晶圆材料时，可通过预留的导热梁将镜板以及可动框架上的热量传递出去，进而保证刻蚀过程的正常运行，可以显著提高良品率。

公开(公告)号：CN119335729A

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN202411209119.X

申请日：2024-08-30

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 曹英超 ,  谢会开 ,  贾宜龙 ,  王华 ,  邓耀宇

IPC: G02B26/08 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开的具有独立电极结构的静电梳齿驱动MEMS微镜及制作方法，属于微光机电领域，本发明的静电MEMS微镜，包括镜面、梳齿电极、梳齿支撑结构、扭转梁、焊盘、空腔和固定框架。驱动动梳齿电极和检测动梳齿电极通过扭转梁与焊盘连接。微镜通过填充隔离沟道将梳齿电极分为检测梳齿电极和驱动梳齿电极，并且通过去除梳齿电极底部的硅衬底用以降低寄生电容，从而避免驱动信号对于检测信号的馈通干扰，提高对静电MEMS微镜的电容检测精度。本发明根据背腔刻蚀优先顺序，还公开两种具有独立电极结构的静电MEMS微镜制作方法，本发明的静电MEMS微镜制作方法通过聚合物填充沟道、绝缘层和金属导线，实现不同梳齿电极的隔离和互联。