公开(公告)号：CN102951607A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210494634.8

申请日：2012-12-20

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 马树元 ,  谢虎 ,  王伟明 ,  闪明才 ,  黄杰 ,  宋谦

IPC: B82B3/00

Abstract: 本发明公开了一种磁悬浮式定位平台结构，它包括磁悬浮式平台基座，两组上定子绕组，两组下定子绕组线圈，运动平台，四块永磁阵列，三个柔性支撑，工作平台，永磁涡流阻尼器。两块永磁阵列安装在移动平台的下方，对称布置，与两组下定子绕组线圈作用，构成一组斥力型直线电机。另外两块永磁阵列安装在移动平台的上方，对称布置，位置同下方的两块永磁阵列错开九十度，与两组上定子绕组线圈作用，构成一组吸力型直线电机，两组电机同时作用实现平台的六自由度的运动。与直线电机直接作用的移动平台通过三个柔性支撑同工作平台连接。永磁涡流阻尼器安装在移动平台下方。本发明主要适用于大行程的纳米加工、定位、测量以及组装等微纳米制造领域。

公开(公告)号：CN102951607B

公开(公告)日：2013-11-13

申请号：CN201210494634.8

申请日：2012-12-20

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 马树元 ,  谢虎 ,  王伟明 ,  闪明才 ,  黄杰 ,  宋谦

IPC: B82B3/00

Abstract: 本发明公开了一种磁悬浮式定位平台结构，它包括磁悬浮式平台基座，两组上定子绕组，两组下定子绕组线圈，运动平台，四块永磁阵列，三个柔性支撑，工作平台，永磁涡流阻尼器。两块永磁阵列安装在移动平台的下方，对称布置，与两组下定子绕组线圈作用，构成一组斥力型直线电机。另外两块永磁阵列安装在移动平台的上方，对称布置，位置同下方的两块永磁阵列错开九十度，与两组上定子绕组线圈作用，构成一组吸力型直线电机，两组电机同时作用实现平台的六自由度的运动。与直线电机直接作用的移动平台通过三个柔性支撑同工作平台连接。永磁涡流阻尼器安装在移动平台下方。本发明主要适用于大行程的纳米加工、定位、测量以及组装等微纳米制造领域。