公开(公告)号：CN103196391A

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN201310132015.9

申请日：2013-04-16

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 程灏波 ,  潘宝珠 ,  周东梅 ,  谭汉元 ,  丁仁强

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种近抛物面的环形凹非球面的快速面形检测方法。通过光学设计软件，用球面自准直法仿真出凹非球面相对于最接近抛物面的理论波像差，在极坐标下利用Zernike多项式对波像差进行拟合，将极坐标下的波像差方程转化为直角坐标下的形式；使用数字波面干涉仪测量出非球面相对于抛物面的波像差，将实际波像差的矩阵和理论波像差的矩阵统一到同一坐标系下，让两个波像差的像素一一对应，然后将两个波像差的矢高做差法运算，即可得到非球面实际面形与理论面形的残差分布。本发明检测非球面的最大非球面度和非球面度梯度取决于数字波面干涉仪内CCD阵列像元的大小和数目。本发明具有快速、准确、检测范围广等优点，具有广阔的市场前景。

公开(公告)号：CN103234480A

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN201310132121.7

申请日：2013-04-16

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 程灏波 ,  潘宝珠 ,  冯云鹏 ,  谭汉元 ,  丁仁强

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种环形凸非球面的快速面形检测方法，基于球面自准直法利用光学设计软件仿真出凸非球面相对于最接近双曲面的波像差，在极坐标下利用Zernike多项式对波像差进行拟合，将极坐标下的波像差方程转化为直角坐标下的形式；使用数字波面干涉仪测量出非球面相对于双曲面的波像差，将实际波像差的矩阵和理论波像差的矩阵统一到同一坐标系下，让两个波像差的像素一一对应，然后将两个波像差的矢高做差法运算，即可得到非球面实际面形与理论面形的残差分布。本检测方法检测非球面的最大非球面度和非球面度梯度不仅取决于数字波面干涉仪内CCD阵列像元的大小和数目，还依赖于所选择的最接近双曲面的参数。本发明具有快速、准确、检测范围广等优点，具有广阔的市场前景。