一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN109931825B

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN201811389610.X

    申请日:2018-11-21

    Abstract: 本发明公开了一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件及其制备方法。本发明的MEMS电磁能量疏导器件包括绝缘衬底、电磁能量疏导质量块、多个环形驱动电极、电磁能量吸收层、多对电磁能量疏导导线、薄膜吸收层、多对电磁能量疏导引脚和封装壳体;本发明基于各类型弹药的引信系统,结合微机电系统工艺制备了电磁能量疏导器件,解决了传统引信电磁防护受到尺寸限制的问题,并通过电磁驱动,实现机构通断,完成电磁能量的疏导,提高了引信系统乃至整个弹药的安全性能。

    一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN109931825A

    公开(公告)日:2019-06-25

    申请号:CN201811389610.X

    申请日:2018-11-21

    Abstract: 本发明公开了一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件及其制备方法。本发明的MEMS电磁能量疏导器件包括绝缘衬底、电磁能量疏导质量块、多个环形驱动电极、电磁能量吸收层、多对电磁能量疏导导线、薄膜吸收层、多对电磁能量疏导引脚和封装壳体;本发明基于各类型弹药的引信系统,结合微机电系统工艺制备了电磁能量疏导器件,解决了传统引信电磁防护受到尺寸限制的问题,并通过电磁驱动,实现机构通断,完成电磁能量的疏导,提高了引信系统乃至整个弹药的安全性能。

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