一种新型数字微流控芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN115121305A

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN202210823817.3

    申请日:2022-07-13

    Abstract: 本发明涉及一种新型数字微流控芯片及其制备方法,属于数字微流控与MEMS技术的交叉领域。本发明以简化DMF芯片制作难度和降低芯片制作成本为目的,使用PCB加工工艺中的阻焊层来作为数字微流控芯片的介电层,后续只需要制备疏水层,省去了给PCB基板覆膜的工艺,从而达到避免上述PCB芯片覆膜问题的目的。并且,将PCB板上的过孔进行填充,能够形成驱动液滴移动的介电泳力或介电润湿力,以消除液滴在芯片上移动的阻力。

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