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公开(公告)号：CN107764203B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201711019962.1
申请日：2017-10-27
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明属于光学精密测试技术领域，涉及一种基于部分补偿法的双波长相移干涉方法及实现装置。该方法构建部分补偿法双波长相移干涉仪，获取两个单波长的被测波前包裹相位；建模部分补偿法双波长理想干涉仪，获得两个单波长的剩余波前和包裹相位；采用误差分离和消除算法消除被测波前包裹相位中的已知及未知波前变化量，最后采用逆向迭代优化重构被测非球面的面形误差。装置包括第一激光器和第二激光器、第一狭缝和第二狭缝、第一平面镜和第二平面镜、第一分束镜和第二分束镜、扩束镜、准直镜、标准平面镜、移相器、部分补偿镜、被测非球面、成像镜头和含稀疏阵列传感器的干涉图采集组件。本发明特别适用于小面形误差的陡度非球面，以及大面形误差的模压非球面和自由曲面的加工质量测量。
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公开(公告)号：CN103344962B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201310292032.9
申请日：2013-07-12
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01S17/32
Abstract: 本发明属于激光测距领域，特别是涉及一种基于光路差分的激光测距方法，包括处理电路模块，激光光源，准直扩束镜，分光镜，光电探测器，聚光镜，第一粗微动平台，第一APD，第一接收透镜，半反半透镜，减法器，第一粗微动平台控制器，第二接收透镜，第二粗微动平台，第二APD，第二粗微动平台控制器。本发明的一种基于光路差分的激光脉冲测距方法，采用双APD探测器对回波接收，同时利用减法器得到差分回波信号，有效地消除了背景噪声对测距的影响，使系统可以在中远距离均能进行有效测量。
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公开(公告)号：CN110763139B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201911161746.X
申请日：2019-11-22
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 结合可变形镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统，通过部分补偿透镜和可变形镜，建立结合可变形镜共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统，可变形镜作为会聚反射镜，不需要移动会聚反射镜，避免了在非球面参数误差干涉测量方法中，需要通过移动消球差透镜组来确定被测非球面的初始位置，从而更加准确地确定被测面和部分补偿透镜的相对位置，进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，且能够实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量，具有无需扫描系统、结构简单的优点。
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公开(公告)号：CN110966958B
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201911163939.9
申请日：2019-11-22
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 结合液体透镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统，通过将液体透镜L和部分补偿透镜P结合作为共焦透镜，建立结合液体透镜共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统，不需要移动液体透镜，避免了在非球面参数误差干涉测量方法中需要通过移动消球差透镜组来确定被测非球面的初始位置，从而能够去除导轨所引入的误差，更加准确地确定被测面和部分补偿透镜的相对位置，进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，且能够实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量，具有无需扫描系统、结构简单的优点。
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公开(公告)号：CN109029291B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201810933104.6
申请日：2018-08-16
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法，属于非球面测量领域。本发明实现方法为，获取被测非球面名义参数，利用获取被测非球面名义参数，结合光学设计软件设计并加工部分补偿透镜与消球差透镜组；根据部分补偿透镜和消球差透镜组建立结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统；利用所述系统获得最佳补偿位置变化；测量被测非球面与理想非球面之间的面形变化，并计算面形变化四次分量的系数；根据联立的方程组，计算非球面的面型参数误差，即实现对非球面的面型参数误差的测量。本发明能够提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量，具有无需扫描装置、结构简单的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110763139A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201911161746.X
申请日：2019-11-22
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 结合可变形镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统，通过部分补偿透镜和可变形镜，建立结合可变形镜共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统，可变形镜作为会聚反射镜，不需要移动会聚反射镜，避免了在非球面参数误差干涉测量方法中，需要通过移动消球差透镜组来确定被测非球面的初始位置，从而更加准确地确定被测面和部分补偿透镜的相对位置，进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，且能够实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量，具有无需扫描系统、结构简单的优点。
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公开(公告)号：CN109029291A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810933104.6
申请日：2018-08-16
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法，属于非球面测量领域。本发明实现方法为，获取被测非球面名义参数，利用获取被测非球面名义参数，结合光学设计软件设计并加工部分补偿透镜与消球差透镜组；根据部分补偿透镜和消球差透镜组建立结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统；利用所述系统获得最佳补偿位置变化；测量被测非球面与理想非球面之间的面形变化，并计算面形变化四次分量的系数；根据联立的方程组，计算非球面的面型参数误差，即实现对非球面的面型参数误差的测量。本发明能够提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量，具有无需扫描装置、结构简单的优点。
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公开(公告)号：CN103344962A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310292032.9
申请日：2013-07-12
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01S17/32
Abstract: 本发明属于激光测距领域，特别是涉及一种基于光路差分的激光测距方法，包括处理电路模块，激光光源，准直扩束镜，分光镜，光电探测器，聚光镜，第一粗微动平台，第一APD，第一接收透镜，半反半透镜，减法器，第一粗微动平台控制器，第二接收透镜，第二粗微动平台，第二APD，第二粗微动平台控制器。本发明的一种基于光路差分的激光脉冲测距方法，采用双APD探测器对回波接收，同时利用减法器得到差分回波信号，有效地消除了背景噪声对测距的影响，使系统可以在中远距离均能进行有效测量。
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公开(公告)号：CN106871819A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710022242.4
申请日：2017-01-12
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/255
CPC classification number: G01B11/255
Abstract: 本发明涉及基于最佳补偿位置的非球面顶点曲率半径误差测量方法，属于非球面面型参数测量领域。旨在利用基于斜率非球面度的最接近比较球面，实现部分补偿法非球面顶点曲率半径误差的测量，构成一种全新的非球面参数误差测量方法。本发明为基于最佳补偿位置的非球面顶点曲率半径误差测量方法，用于激光干涉法测量非球面的顶点曲率半径误差。应用本方法，可以获得非球面的最佳补偿位置，通过测量理想非球面与实际非球面的最佳补偿位置之间的离焦距离，可以计算非球面的顶点曲率半径误差，最终实现非球面面型参数的高精度检测。
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公开(公告)号：CN110966958A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201911163939.9
申请日：2019-11-22
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 结合液体透镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统，通过将液体透镜L和部分补偿透镜P结合作为共焦透镜，建立结合液体透镜共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统，不需要移动液体透镜，避免了在非球面参数误差干涉测量方法中需要通过移动消球差透镜组来确定被测非球面的初始位置，从而能够去除导轨所引入的误差，更加准确地确定被测面和部分补偿透镜的相对位置，进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，且能够实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量，具有无需扫描系统、结构简单的优点。
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