一种共光路干涉条纹投射装置

    公开(公告)号:CN108562239A

    公开(公告)日:2018-09-21

    申请号:CN201810023655.9

    申请日:2018-01-10

    CPC classification number: G01B11/254 G01B11/2441

    Abstract: 本发明公开了一种共光路干涉条纹投射装置,包括:光源、会聚透镜、孔径光阑、准直透镜、可调光阑、显微物镜、干涉条纹产生装置和工业相机。光源发出的光束,先后经过会聚透镜和孔径光阑作用,再经过准直透镜和可调光阑作用,入射到显微物镜内形成高质量的点光源;点光源发出的光入射到干涉条纹产生装置后产生干涉条纹投射到待测物体表面,经物体反射的变形条纹图被工业相机采集,最后通过相位测量轮廓术算法恢复出物体的三维形貌。本发明装置具有结构简单稳定、干涉条纹图像中心和边缘亮度分布均匀且条纹周期调节方便等特点,可应用于工业检测等领域。

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