公开(公告)号：CN102997864B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201210548184.6

申请日：2012-12-17

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 程灏波 ,  文永富 ,  张慧静 ,  周东梅

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种大口径光学非球面镜检测系统，包括干涉仪、标准球面透射镜头、一维电控平移台、五维电控精密平台及计算机数控系统，通过计算机控制一维电控平移台和五维电控精密平台来调整干涉仪与被测非球面的相对位置，完成对非球面的检测。检测过程中，干涉仪发出的比较球面波与被测非球面相应的内切圆匹配，产生一系列可分辨的子孔径干涉条纹，提取各干涉条纹对应的波程差数据并存储；在完成对各子孔径波程差数据预处理后，由子孔径拼接算法重构出被测非球面面形误差。本发明无需设计和制造补偿器以及高精度电控平移台，为大口径、大相对口径非球面的检测提供了一种有效手段，具有广阔的应用前景。

公开(公告)号：CN102997864A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201210548184.6

申请日：2012-12-17

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 程灏波 ,  文永富 ,  张慧静 ,  周东梅

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种大口径光学非球面镜检测系统，包括干涉仪、标准球面透射镜头、一维电控平移台、五维电控精密平台及计算机数控系统，通过计算机控制一维电控平移台和五维电控精密平台来调整干涉仪与被测非球面的相对位置，完成对非球面的检测。检测过程中，干涉仪发出的比较球面波与被测非球面相应的内切圆匹配，产生一系列可分辨的子孔径干涉条纹，提取各干涉条纹对应的波程差数据并存储；在完成对各子孔径波程差数据预处理后，由子孔径拼接算法重构出被测非球面面形误差。本发明无需设计和制造补偿器以及高精度电控平移台，为大口径、大相对口径非球面的检测提供了一种有效手段，具有广阔的应用前景。