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公开(公告)号：CN102931878B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201210415352.4
申请日：2012-10-26
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种多悬臂宽频MEMS压电俘能器，属于微机械电子技术领域；具体采用MEMS工艺，体硅加工成形，其结构包括微俘能器边框、主悬臂梁、多个次悬臂梁、多个下分布电极引线端、PZT压电层、多个上分布电极引线端和多根引线；各个次悬臂梁采用相同的多层矩形梁结构；微俘能器边框的中线位置制作主悬臂梁，多个次悬臂梁平均对称分布在主悬臂梁的两侧。各个次悬臂梁的顶电极层和上分布电极引线端采用引线一一对应连接，各个次悬臂梁的底电极层和下分布电极引线端采用引线一一对应连接。本发明的MEMS压电俘能器将压电材料与硅微材料进行兼容设计，扩大了微俘能器的带宽。同时，实现了多路俘能多路输出，避免了交流电相互影响。
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公开(公告)号：CN102931878A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210415352.4
申请日：2012-10-26
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种多悬臂宽频MEMS压电俘能器，属于微机械电子技术领域；具体采用MEMS工艺，体硅加工成形，其结构包括微俘能器边框、主悬臂梁、多个次悬臂梁、多个下分布电极引线端、PZT压电层、多个上分布电极引线端和多根引线；各个次悬臂梁采用相同的多层矩形梁结构；微俘能器边框的中线位置制作主悬臂梁，多个次悬臂梁平均对称分布在主悬臂梁的两侧。各个次悬臂梁的顶电极层和上分布电极引线端采用引线一一对应连接，各个次悬臂梁的底电极层和下分布电极引线端采用引线一一对应连接。本发明的MEMS压电俘能器将压电材料与硅微材料进行兼容设计，扩大了微俘能器的带宽。同时，实现了多路俘能多路输出，避免了交流电相互影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103199738B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201310063244.X
申请日：2013-02-28
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS技术的压电-电磁复合式宽频俘能器，属于微机电系统领域。其包括：边框1、2个以上的MEMS压电-电磁复合式俘能单元11、管壳20和盖板2。盖板2盖在管壳20的上面，边框1固定于管壳20的内部，MEMS压电-电磁复合式俘能单元11固定于边框1内。每个MEMS压电-电磁复合式俘能单元11包括：磁铁3、线圈4、质量块5、4根结构梁、第一上电极层7、第二上电极层8、下电极层9、PZT压电材料层10、绝缘层15。本发明提出的俘能器与已有MEMS振动型俘能器相比较，具有以下优点：①将线圈材料、压电材料的制备与MEMS工艺实现兼容设计，且成本较低。②具有宽频带俘能效果，并同时能输出较大电压和较大电流。
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公开(公告)号：CN103199738A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310063244.X
申请日：2013-02-28
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS技术的压电-电磁复合式宽频俘能器，属于微机电系统领域。其包括：边框1、2个以上的MEMS压电-电磁复合式俘能单元11、管壳20和盖板2。盖板2盖在管壳20的上面，边框1固定于管壳20的内部，MEMS压电-电磁复合式俘能单元11固定于边框1内。每个MEMS压电-电磁复合式俘能单元11包括：磁铁3、线圈4、质量块5、4根结构梁、第一上电极层7、第二上电极层8、下电极层9、PZT压电材料层10、绝缘层15。本发明提出的俘能器与已有MEMS振动型俘能器相比较，具有以下优点：①将线圈材料、压电材料的制备与MEMS工艺实现兼容设计，且成本较低。②具有宽频带俘能效果，并同时能输出较大电压和较大电流。
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公开(公告)号：CN103107739B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310064404.2
申请日：2013-02-28
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的动磁铁型电磁-压电复合式宽频俘能器，属于微机电系统领域。其包括：边框1、2个以上的MEMS电磁-压电复合式俘能单元11、管壳20、盖板2、第一玻璃基板17和第二玻璃基板18。MEMS电磁-压电复合式俘能单元11包括：磁铁3、第一线圈4、质量块5、第一结构梁6、第二结构梁12、第三结构梁13、第四结构梁14、第一上电极层7、第二上电极层8、下电极层9、PZT压电材料层10、绝缘层15、第二线圈16。本发明提出的俘能器与已有MEMS振动型俘能器相比较，具有以下优点：①将线圈材料、压电材料的制备与MEMS工艺实现兼容设计，且成本较低。②具有宽频带俘能效果，并同时能输出较大电压和较大电流。
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公开(公告)号：CN103107739A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201310064404.2
申请日：2013-02-28
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的动磁铁型电磁-压电复合式宽频俘能器，属于微机电系统领域。其包括：边框1、2个以上的MEMS电磁-压电复合式俘能单元11、管壳20、盖板2、第一玻璃基板17和第二玻璃基板18。MEMS电磁-压电复合式俘能单元11包括：磁铁3、第一线圈4、质量块5、第一结构梁6、第二结构梁12、第三结构梁13、第四结构梁14、第一上电极层7、第二上电极层8、下电极层9、PZT压电材料层10、绝缘层15、第二线圈16。本发明提出的俘能器与已有MEMS振动型俘能器相比较，具有以下优点：①将线圈材料、压电材料的制备与MEMS工艺实现兼容设计，且成本较低。②具有宽频带俘能效果，并同时能输出较大电压和较大电流。
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公开(公告)号：CN203278696U
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201220555946.0
申请日：2012-10-26
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本实用新型涉及一种多悬臂宽频MEMS压电俘能器，属于微机械电子技术领域；具体采用MEMS工艺，体硅加工成形，包括微俘能器边框、主悬臂梁、多个次悬臂梁、多个下分布电极引线端、PZT压电层、多个上分布电极引线端和多根引线；各个次悬臂梁采用相同的多层矩形梁结构；微俘能器边框的中线位置制作主悬臂梁，多个次悬臂梁平均对称分布在主悬臂梁的两侧。各个次悬臂梁的顶电极层和上分布电极引线端采用引线一一对应连接，各个次悬臂梁的底电极层和下分布电极引线端采用引线一一对应连接。本实用新型的MEMS压电俘能器将压电材料与硅微材料进行兼容设计，扩大了微俘能器的带宽。同时，实现了多路俘能多路输出，避免了交流电相互影响。
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